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公告日期：

2014-07-11

截止日期：

2014-07-21

所屬行業(yè)：

水泵/真空泵/真空泵機(jī)組

所在地區(qū)：

　　一、項(xiàng)目名稱：超高真空互聯(lián)及樣品轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
　　
　　二、設(shè)備產(chǎn)地：國內(nèi)
　　
　?。óa(chǎn)地“國內(nèi)”是指：國內(nèi)制造及中國關(guān)稅已經(jīng)付清的國外制造的產(chǎn)品，具體情況請致電技術(shù)聯(lián)系人）
　　
　　三、招標(biāo)方式：公開招標(biāo)
　　
　　四、招標(biāo)編號：HITZB-928
　　
　　五、采購數(shù)量：1
　　
　　六、采購需求及主要技術(shù)指標(biāo)：
　　
　　本系統(tǒng)是為了驗(yàn)證樣品在超高真空的環(huán)境下在不同的測試/制備設(shè)備間相互傳遞的可行性，為將來搭建更大規(guī)模的復(fù)雜系統(tǒng)做好技術(shù)儲(chǔ)備和技術(shù)驗(yàn)證。整個(gè)系統(tǒng)由直線段進(jìn)樣室、直線段傳輸室和中轉(zhuǎn)室、圓形傳樣腔、獨(dú)立的快速進(jìn)樣室、小型分子束外延室等幾個(gè)部分組成。
　　
　　1.系統(tǒng)的總體技術(shù)要求：
　　
　　真空度：在樣品傳輸過程中，樣品所經(jīng)歷的環(huán)境的真空度必須在10-10mbar量級。
　　
　　樣品傳送時(shí)間：考慮到活潑樣品在真空中的老化效應(yīng)，要求樣品在不同部分之間的傳送時(shí)間小于5分鐘。
　　
　　與各種子系統(tǒng)對接的可行性：考慮到未來大型實(shí)驗(yàn)裝置的功能多樣性，子系統(tǒng)來自不同領(lǐng)域的供貨商，系統(tǒng)的高度和樣品托方向各不相同，本設(shè)備在設(shè)計(jì)和裝配時(shí)要考慮到適應(yīng)不同的實(shí)驗(yàn)裝置，包括樣品托的傳樣方式，傳入角度和取放方式。
　　
　　實(shí)驗(yàn)裝置的耐用性和便于維護(hù)：考慮到大型實(shí)驗(yàn)裝置的使用特點(diǎn)，本系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和選材要從耐用出發(fā)，所使用的設(shè)計(jì)在國內(nèi)至少有1~3家類似的使用用戶并提供用戶清單以便調(diào)研。要求提供詳細(xì)的系統(tǒng)圖紙以供審核。
　　
　　未來的擴(kuò)展性：本設(shè)備是作為大實(shí)驗(yàn)裝置的子系統(tǒng)，因此必須具有擴(kuò)展性，供應(yīng)商必須證明或者演示此系統(tǒng)具有互聯(lián)和擴(kuò)展的可能性。此外，供應(yīng)商應(yīng)該及時(shí)與哈爾濱工業(yè)大學(xué)就實(shí)際使用中的問題及時(shí)更新設(shè)計(jì)，并將更新后的設(shè)計(jì)與哈爾濱工業(yè)大學(xué)共享。
　　
　　2.系統(tǒng)的總體構(gòu)成：
　　
　　直線傳輸段：直線傳輸段是本套設(shè)備的主動(dòng)脈，用于大量快速的移動(dòng)樣品，位于直線傳輸段進(jìn)樣室和圓形傳樣腔之間。本部分包含了直線段和直線過渡段兩部分，直線段連接了直線段快速進(jìn)樣室和過渡段，并且具有和其他直線段連接的法蘭接口。直線過渡段連接了直線段和圓形傳樣腔，并具備短期存放多個(gè)樣品的停放臺(tái)。直線傳輸段還應(yīng)該包括簡單可靠的樣品傳送方式，如傳樣桿，直線驅(qū)動(dòng)的樣品小車及必要的調(diào)整和選擇裝置等。
　　
　　直線傳輸段進(jìn)樣室：直線傳輸段進(jìn)樣室與直線段相連接，是樣品從大氣進(jìn)入超高真空環(huán)境的過渡腔體，直線傳輸段必須能允許傳樣小車自由便捷的進(jìn)出，單次傳送不少于15個(gè)樣品托進(jìn)入超高真空環(huán)境。
　　
　　圓形傳樣腔：圓形傳樣腔與直線過渡段相連接，作為樣品分配的終端，圓形傳樣腔包含了一個(gè)不小于700mm的圓形真空腔和可以在腔體內(nèi)自由轉(zhuǎn)動(dòng)和伸縮旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂。機(jī)械臂可以繞形腔體的中心做360度旋轉(zhuǎn)并且可以在軸線方向做自由的伸縮，線性移動(dòng)的距離不小于720mm，為了配合不同系統(tǒng)的傳樣需求，機(jī)械臂的前段還需配有樣品的快速取放裝置，可以直接與不同的終端設(shè)備的樣品臺(tái)進(jìn)行樣品的交換。為了配合不同的樣品系統(tǒng)，機(jī)械臂前段的取放裝置還必須具有繞軸旋轉(zhuǎn)的功能，可以繞著軸線做360度自由的旋轉(zhuǎn)，以適應(yīng)樣品取向不同的設(shè)備。
　　
　　獨(dú)立的快速進(jìn)樣室：獨(dú)立的快速進(jìn)樣室作為一個(gè)子模塊與圓形傳樣腔體連接，作為一個(gè)后備的樣品進(jìn)入超高真空系統(tǒng)的方式。能單次傳入不少于6個(gè)樣品進(jìn)入超高真空系統(tǒng)，并且在分子泵組和差分進(jìn)樣門的配置下，極限真空需要好于5x10-9mbar。
　　
　　分子束外延設(shè)備：分子束外延作為一套終端設(shè)備，一方面需要具備分子束外延的樣品制備功能，能使這套系統(tǒng)具備單晶生長的能力，另外，能滿足后期系統(tǒng)擴(kuò)展后進(jìn)行原位的樣品分析的需求，因此其樣品托設(shè)計(jì)需要很好的兼容性，能與主流的表面分析設(shè)備廠家的產(chǎn)品兼容，如：Specs、Omicron、ThermoFisher、Prevac、VG等。
　　
　　3.系統(tǒng)整體的真空要求：
　　
　　系統(tǒng)包含了多套超高真空腔體，在真空泵的選擇包含但不限于分子泵，離子泵，吸附泵等。所有的分子泵和前級泵之間必須搭配有自保護(hù)的氣動(dòng)閥門，在停電等非正常狀況下能保護(hù)分子泵和系統(tǒng)真空不受破壞。
　　
　　系統(tǒng)的分子泵必須選擇Agilent、Edwards或Pfeiffer；對于300L/s抽速及以上的分子泵組必須選擇相應(yīng)的全無油磁懸浮型號；如果有選擇吸附泵必須選擇來自SAES或者GammaVacuum的吸氣劑；如果有選擇低溫冷凝泵必須選擇來自住友(Sumitomo)或者CTI（Brooks）的型號；分子泵的前級泵必須選擇全無油的渦旋真空泵或者隔膜真空泵組等。
　　
　　系統(tǒng)的極限真空必須在系統(tǒng)充分烘烤完采用離子規(guī)測量得到，離子規(guī)及控制器必須來自于Agilent/Edwards/Pfeiffer/GranvillePhillips等國際品牌。
　　
　　不同真空系統(tǒng)之間的連接必須采用全金屬密封的閘板閥連接，閘板閥必須來自于VAT或者VGScienta中的一家。
　　
　　本系統(tǒng)對各個(gè)腔體的真空泵和真空指標(biāo)的具體需求如下：
　　
　　直線段：極限真空達(dá)到10-11mbar量級:
　　
　　i.1臺(tái)不小于300L/s的分子泵和不小于6m3/h的無油前級泵；
　　
　　ii.1臺(tái)濺射離子泵；
　　
　　iii.1臺(tái)吸氣劑泵或者低溫冷凝泵；
　　
　　iv.離子泵和吸氣劑泵或者冷凝泵的總抽速不小于2000L/s；
　　
　　v.與直線段進(jìn)樣室采用口徑不小于150mm的閘板閥連接，與圓形傳樣腔采用口徑不小于60mm的閘板閥連接。
　　
　　直線傳輸段進(jìn)樣室：極限真空好于5x10-10mbar
　　
　　i.1臺(tái)不小于300L/s的分子泵和不小于6m3/h的無油前級泵；
　　
　　ii.快速進(jìn)樣門口徑不小于150mm并采用雙橡膠圈密封技術(shù)。
　　
　　圓形傳樣腔：極限真空達(dá)到10-11mbar量級
　　
　　i.1臺(tái)復(fù)合離子泵（可以是NEG或者TSP復(fù)合），總抽速不小于400L/s;
　　
　　ii.與獨(dú)立的快速進(jìn)樣室之間采用口徑不小于60mm的閘板閥連接，與分子束外延設(shè)備之間采用口徑不小于60mm的閘板閥連接。
　　
　　獨(dú)立的快速進(jìn)樣室：極限真空好于5x10-9mbar
　　
　　i.1臺(tái)不小于70L/s的分子泵和1臺(tái)不小于6m3/h的無油前級泵；
　　
　　ii.快速進(jìn)樣門口徑不小于60mm并采用雙橡膠圈密封技術(shù)。
　　
　　分子束外延設(shè)備:極限真空好于5x10-10mbar
　　
　　1臺(tái)不小于300L/s的分子泵和不小于6m3/h的無油前級泵。
　　
　　4.樣品的傳輸與交接要求：
　　
　　為了盡可能保證樣品的活性，樣品傳輸時(shí)間應(yīng)該盡可能的縮短，以下為各腔體內(nèi)部和腔體之間的傳樣時(shí)間和真空增量要求：
　　
　　直線傳輸段進(jìn)樣室到直線傳輸段，樣品小車移動(dòng)的時(shí)間不大于30秒，傳送時(shí)的真空增量小于5x10-10mbar；直線傳輸段，樣品小車從進(jìn)入直線段開始計(jì)時(shí)，到傳送一個(gè)樣品到直線過渡段的樣品停放臺(tái)上的時(shí)間不大于120秒，傳送時(shí)的真空增量小于5x10-10mbar；
　　
　　直線傳輸段到圓形傳樣腔，圓形傳樣腔的機(jī)械臂抓取直線過渡段的樣品并退回到圓形傳樣腔內(nèi)部的時(shí)間不大于60秒，傳送時(shí)的真空增量小于5x10-10mbar；
　　
　　圓形傳樣腔，圓形傳樣腔從過渡段或者快速進(jìn)樣室抓取樣品后送至分子束外延的樣品臺(tái)上的時(shí)間不大于60秒，傳送時(shí)的真空增量小于5x10-10mbar；
　　
　　額外傳輸?shù)男枨螅?br />　　
　　圓形傳樣腔上必須有一套裝置演示機(jī)械臂可以在軸向上繞軸旋轉(zhuǎn)，這套演示裝置可以和分子束外延裝置配合或者單獨(dú)安裝;
　　
　　圓形傳樣腔內(nèi)的機(jī)械臂的行程不能小于720mm，并且在端部必須有獨(dú)立的樣品快速抓取裝置，可以自由的取放樣品；
　　
　　圓形傳樣腔的機(jī)械臂承重不小于300g，在承重300g的情況下下垂不超過3mm；
　　
　　圓形傳樣腔的機(jī)械臂應(yīng)該具有成熟可靠的設(shè)計(jì)，需要提供不少于三家國內(nèi)使用類似設(shè)計(jì)的用戶清單以供調(diào)研。
　　
　　5.各個(gè)部分真空室的材料、焊接要求，搭配接口與窗口要求：
　　
　　直線傳輸段進(jìn)樣室/直線段/獨(dú)立的快速進(jìn)樣室必須采用不銹鋼SS304及以上的材料加工；圓形傳樣腔和分子束外延腔體必須采用不銹鋼SS316及以上的材料加工；
　　
　　所有真空法蘭需采用內(nèi)焊的方式，不允許采用外焊或者填料等焊接方式，特別是分子束外延腔體，應(yīng)該盡量減少焊接的法蘭，采用一體成型技術(shù)；
　　
　　所有的快速進(jìn)樣門必須采用雙橡膠圈密封的設(shè)計(jì)，盡可能的減少漏率；
　　
　　所有的腔體上應(yīng)該留有足夠的觀察視窗以便觀察樣品的傳輸，所有的超高真空視窗和法蘭應(yīng)該來自英國VGScienta/ITL、美國K.J.Lesker/MDC或者中國臺(tái)灣HTC等國際品牌。
　　
　　6.分子束外延室的基本技術(shù)指標(biāo)：
　　
　　整套設(shè)備主要由真空腔、真空泵、四維樣品架、蒸發(fā)源、薄膜厚度測量儀、控制器和支架等組成。系統(tǒng)將與圓形傳樣腔通過一個(gè)全金屬超高真空閘板閥相連接。樣品通過圓形傳樣腔的機(jī)械臂完成傳遞。
　　
　　真空腔體上需至少搭配以下接口：
　　
　　一個(gè)不小于100mm口徑的CF標(biāo)準(zhǔn)法蘭用于安裝分子泵組。
　　
　　一個(gè)超高真空標(biāo)準(zhǔn)的法蘭用于安裝薄膜厚度測量儀。
　　
　　一個(gè)不小于100mm口徑的CF標(biāo)準(zhǔn)法蘭用于安裝多自由度樣品臺(tái)。
　　
　　一個(gè)不小于100mm口徑的CF標(biāo)準(zhǔn)法蘭用于安裝超高真空視窗。
　　
　　至少7個(gè)35mm口徑的CF標(biāo)準(zhǔn)法蘭用于安裝蒸發(fā)源。
　　
　　可擴(kuò)展的超高真空接口用于擴(kuò)展高能電子衍射(RHEED)功能。
　　
　　與圓形傳樣腔連接的閘板閥接口。
　　
　　其他必需的符合超高真空標(biāo)準(zhǔn)的接口以便安裝離子規(guī)及氣路等其他必需的配件。
　　
　　四維樣品架：
　　
　　工作溫度：室溫到1100℃；
　　
　　XYZ線性移動(dòng)模塊：XY-移動(dòng)模塊行程為+/-12.5mm；Z-移動(dòng)模塊行程為75mm；精度0.05mm。
　　
　　R1旋轉(zhuǎn)模塊：繞Z軸360º旋轉(zhuǎn)，精度0.5º
　　
　　系統(tǒng)標(biāo)配三套蒸發(fā)源：
　　
　　一個(gè)高溫蒸發(fā)源：800-1500℃，集成水冷和擋板。
　　
　　二個(gè)低溫蒸發(fā)源：300-1000℃，集成水冷和擋板。
　　
　　每個(gè)蒸發(fā)源配備獨(dú)立的穩(wěn)壓電源和PID控制器，
　　
　　溫度穩(wěn)定性：
　　
　　低溫蒸發(fā)源1000度以下的不低于+/-0.3度，取300攝氏度及800攝氏度兩個(gè)溫度點(diǎn)的測試結(jié)果做驗(yàn)收。
　　
　　高溫蒸發(fā)源1000度以上的不低于+/-0.5度，取1000攝氏度及1500攝氏度兩個(gè)溫度點(diǎn)的測試結(jié)果做驗(yàn)收。
　　
　　系統(tǒng)采用國際知名品牌的膜厚測量儀，并帶行程為100mm線性移動(dòng)裝置以及控制器。要求測試頻率大于10次/秒，并提供不低于0.03Hz的測試精度。需要提供至少兩路的可擴(kuò)展測試通道并且可以與計(jì)算機(jī)通訊（RS232接口或者USB/網(wǎng)線接口），可以直觀的看到晶體的壽命和使用時(shí)間。
　　
　　7.廠家需求：
　　
　　廠家需提供近兩年內(nèi)交付的類似設(shè)備的用戶列表及聯(lián)系方式，需針對需求提供具體的設(shè)計(jì)方案和具體的技術(shù)解釋，需提供確保儀器正常運(yùn)行所需的管理，運(yùn)行及維護(hù)有關(guān)的技術(shù)文件和說明書，所有資料必須是中文或英文。
　　
　　8.安裝調(diào)試：
　　
　　簽訂商務(wù)合同后，一周內(nèi)提供儀器的詳細(xì)系統(tǒng)圖紙，六個(gè)月內(nèi)交貨。儀器到貨后，廠家需在接到用戶通知后10個(gè)工作日內(nèi)進(jìn)行安裝調(diào)試；提供2名用戶管理人員的現(xiàn)場操作使用及基本維護(hù)的免費(fèi)培訓(xùn)，系統(tǒng)的調(diào)試時(shí)間在一個(gè)月之內(nèi)。
　　
　　9.驗(yàn)收：
　　
　　安裝，調(diào)試及試運(yùn)行后應(yīng)達(dá)到合同規(guī)定的技術(shù)指標(biāo)，無故障運(yùn)行一個(gè)星期后驗(yàn)收。
　　
　　七、投標(biāo)商準(zhǔn)入資格：
　　
　　1、具有在境內(nèi)的獨(dú)立法人資格以及相關(guān)資質(zhì)證明文件；本次招標(biāo)如出現(xiàn)一個(gè)投標(biāo)人的二個(gè)授權(quán)代表來參加本次投標(biāo)，則該投標(biāo)人的投標(biāo)資格將被當(dāng)場取消,投標(biāo)保證金不退，本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)，前來投標(biāo)的單位需要提供基本賬戶銀行資信證明和上一年度經(jīng)會(huì)計(jì)師事務(wù)所審計(jì)的審計(jì)報(bào)告，銀行資信證明必須編制在投標(biāo)文件中，審計(jì)報(bào)告編制在投標(biāo)文件中或開標(biāo)現(xiàn)場提供原件均可。
　　
　　2、具備中國政府采購法第二十二條的條件。
　　
　　八、報(bào)名截止時(shí)間及相關(guān)說明：
　　
　　1、本次招標(biāo)公告截止日期為2014年7月17日中午11點(diǎn)整,有意參與投標(biāo)的供應(yīng)商請將投標(biāo)申請表及營業(yè)執(zhí)照復(fù)印件（有效年檢且復(fù)印件年檢章清晰）加蓋公章快遞（或送達(dá)）予我們，以便于有效安排開標(biāo)事宜。本項(xiàng)目預(yù)計(jì)開標(biāo)時(shí)間8月初（具體時(shí)間以招標(biāo)文件為準(zhǔn)）。
　　
　　2、如果報(bào)名情況符合開標(biāo)條件，標(biāo)書將在報(bào)名截止后以電子郵件的形式發(fā)送到您的郵箱，敬請自行查詢郵箱并仔細(xì)閱讀標(biāo)書，哈工大招標(biāo)辦不再另行通知，如有疑問可致電或到訪招標(biāo)辦，請?jiān)谝?guī)定時(shí)間交納標(biāo)書工本費(fèi)、投標(biāo)保證金（標(biāo)書工本費(fèi)收取后一概不退）獲取投標(biāo)資格。
　　
　　3、請于收到電子版標(biāo)書后，在標(biāo)書中明確的開標(biāo)時(shí)間前一天（節(jié)假日前置）下午14：30分之前到指定地點(diǎn)（哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號，哈爾濱工業(yè)大學(xué)行政辦公樓207室招標(biāo)采購辦公室）交納標(biāo)書工本費(fèi)，開標(biāo)前交投標(biāo)保證金，未按照要求交納標(biāo)書工本費(fèi)的供應(yīng)商不能取得投標(biāo)資格。（如有疑問可致電或到訪招標(biāo)辦）
　　
　　九、發(fā)布公告媒介：
　　
　　中國政府采購網(wǎng)
　　
　　中國招標(biāo)投標(biāo)網(wǎng)
　　
　　哈爾濱工業(yè)大學(xué)
　　
　　哈爾濱工業(yè)大學(xué)國有資產(chǎn)管理處
　　
　　十、聯(lián)系方式：
　　
　　招標(biāo)人：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
　　
　　招標(biāo)人地址：哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號，哈爾濱工業(yè)大學(xué)行政辦公樓207室招標(biāo)采購辦公室
　　
　　招標(biāo)聯(lián)系人：李占奎 聯(lián)系電話：0451－86417955
　　
　　技術(shù)聯(lián)系人：隋郁 聯(lián)系方式：0451－86418403