ZXX、ZXQ氣動薄膜三通調(diào)節(jié)閥通過控制活塞4的節(jié)流口6和阻尼活塞5的兩端，實現(xiàn)開啟緩沖。X口控制壓力與B口負載壓力之比是由控制活塞4兩端的面積決定的，所以控制壓力只需B口負載壓力的幾分之一或幾十分之一。

ZXQ氣動薄膜三通調(diào)節(jié)閥的結(jié)構(gòu)及工作原理
　　外控平衡閥的結(jié)構(gòu)圖如圖2所示，其工作原理是當(dāng)液流從A口至B口時為自由流動，此時主閥芯2被打開，液流從B口流向A口時，ZXQ氣動薄膜三通調(diào)節(jié)閥當(dāng)控制油口X的壓力小于設(shè)定的控制壓力時，則主閥芯2在油口B中的負載壓力和腔8內(nèi)的彈簧力作用下被直接關(guān)閉，起到單向截止功能；當(dāng)控制油口X的壓力達到或超過設(shè)定的控制壓力時，主閥芯2打開，在控制活塞4的作用下，先導(dǎo)閥3脫離錐閥座并使閥腔8中的油液經(jīng)油孔和A口與回油連接，同時由B口作用在腔8的負載壓力隨先導(dǎo)閥芯3在主閥芯中的軸向移動而切斷。主閥芯2卸壓，ZXQ氣動薄膜三通調(diào)節(jié)閥同時控制活塞4的右端頂在主閥芯2上，控制活塞4的左端面緊靠在阻尼活塞5的凹面上。此時，打開B到A所需的X口先導(dǎo)壓力只與閥腔9中的彈簧力有關(guān)。隨著主閥芯2的右移開啟，調(diào)節(jié)流量的開口面積逐漸增大（開口面積是由閥套中的徑向孔和主閥芯2開啟時形成的），開口面積、X口控制壓力和開口壓差之間形成動態(tài)平衡關(guān)系，ZXQ氣動薄膜三通調(diào)節(jié)閥決定了通過B到A的流量基本不變。當(dāng)遇到負載的時候，B口壓力升高，A口壓力降低，使主閥芯2左移，遮住閥套上的部分小孔，抑制流量的增加趨勢，保持流量的基本恒定。ZXQ氣動薄膜三通調(diào)節(jié)閥主閥芯2繼續(xù)左移，A口壓力瞬間上升，又使主閥芯2右移，因此主閥芯2是隨動的，從而實現(xiàn)平衡調(diào)速功能，以保證執(zhí)行器恒速運動。ZXQ氣動薄膜三通調(diào)節(jié)閥通過控制活塞4的節(jié)流口6和阻尼活塞5的兩端，實現(xiàn)開啟緩沖。X口控制壓力與B口負載壓力之比是由控制活塞4兩端的面積決定的，所以控制壓力只需B口負載壓力的幾分之一或幾十分之一。