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半導(dǎo)體設(shè)備羅茨真空泵

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東莞市普諾克真空科技有限公司專注于半導(dǎo)體設(shè)備羅茨真空泵研發(fā)、生產(chǎn)并提供完善的真空系統(tǒng)解決方案。普諾克產(chǎn)品全國(guó)各地,是目前中國(guó)應(yīng)用于在航天航空領(lǐng)域、制藥、醫(yī)療、核工業(yè)、真空包裝及其他眾多工業(yè)領(lǐng)域的真空泵*,久經(jīng)考驗(yàn)、運(yùn)行可靠。

東莞市普諾克真空科技公司擁有一支集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后為一體的強(qiáng)大隊(duì)伍,優(yōu)質(zhì)的半導(dǎo)體設(shè)備羅茨真空泵產(chǎn)品、專業(yè)的真空知識(shí)、在真空系統(tǒng)建造方面的豐富經(jīng)驗(yàn)以及快速的服務(wù),為客戶提供理想、完善的真空解決方案并贏得了高度贊譽(yù),需要了解更多羅茨真空泵信息的朋友請(qǐng)登錄。

 

羅茨真空泵產(chǎn)品特點(diǎn):

1.馬達(dá)多樣性

每一臺(tái)普諾克羅茨真空泵的馬達(dá)都可采用風(fēng)冷或水冷,以保證客戶的正常使用

泵整體采用鋁合金或鑄鐵材料,實(shí)現(xiàn)泵散熱快、耐腐蝕性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)

2.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單 維護(hù)方便

轉(zhuǎn)子型線通過(guò)精心設(shè)計(jì)產(chǎn)用圓弧轉(zhuǎn)子方式使泵的設(shè)計(jì)更加緊湊

抽氣效果更加突出,相比同級(jí)別其它廠家抽速有很大提高

維護(hù)起來(lái)也很方便,維護(hù)費(fèi)用非常低

3.高清潔真空

羅茨泵泵腔內(nèi)沒(méi)有任何能與空氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的介質(zhì)

確保被抽氣體不受二次污染,實(shí)現(xiàn)高清潔真空

4.*泵  助力泵

羅茨泵也稱助力泵,可以與螺桿泵、放片泵、水環(huán)泵、滑閥泵

分子泵等泵組成泵組,大大提高抽氣速率和真空度

正常情況下可以高10倍以上的真空度!

 

安裝尺寸圖

<strong><strong><strong>半導(dǎo)體設(shè)備羅茨真空泵</strong></strong></strong>

 

產(chǎn)品參數(shù):

型號(hào):PNK MR 0600T

額定流量(50Hz):600 m3/h

抽氣速率:166.7 l/s

極限壓力:≤0.05 Pa

大允許壓差:≥1.2x104 mbar(≥1200000 Pa)

馬達(dá)頻率:50 Hz

馬達(dá)額定功率:3 Kw

連接口進(jìn)氣口:ISO100

連接口排氣口:ISO80

轉(zhuǎn)數(shù)(50HZ):2900 PRM

重量:198 Kg

*前級(jí)泵:PNK SP 0100

 

產(chǎn)品曲線圖

<strong><strong><strong>半導(dǎo)體設(shè)備羅茨真空泵</strong></strong></strong>

羅茨真空泵前級(jí)泵選擇:

羅茨真空泵不能單獨(dú)使用,必須配上前級(jí)泵組成機(jī)組,使用前級(jí)真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力,由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的,所以選擇前級(jí)真空泵的抽速是重要的,羅茨真空泵的大壓縮比是隨排出壓力而變化的,在高排出壓力下,大壓縮比多大3:1,而高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達(dá)50:1,甚至更高些。

因此,選擇前級(jí)泵的抽速,要根據(jù)羅茨真空泵的*工作壓力范圍考慮。

例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣,要求在1 mbar入口壓力時(shí)有600升/秒的抽速,并*工作,問(wèn)應(yīng)選擇多大抽速的前級(jí)泵。

先假定用30升/秒的前級(jí)泵時(shí),壓縮比K=600: 30=20得出K=20時(shí)大排出壓力為30 mbar。

由此得出,當(dāng)選用30升/秒前級(jí)泵時(shí),在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口壓力工作時(shí)就選用大一些前級(jí)泵了。該例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前級(jí)泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。

另外應(yīng)當(dāng)考慮的是,對(duì)預(yù)抽時(shí)間的要求問(wèn)題,如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng),可選較小的前級(jí)泵;假如真空室較大,而且要求很快預(yù)抽,就要用較大的前級(jí)泵,有時(shí)為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率,機(jī)組裝有較大的預(yù)抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級(jí)泵維持,這樣做是為了節(jié)約功率。

對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求,也是選擇前級(jí)泵的必須考慮的,對(duì)極限真空度要求較高(達(dá)1X10-3Pa~1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。極限真空度要求在(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵,極限真空度要求在133~1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵。

當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級(jí)泵時(shí),前級(jí)泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,否則將使壓縮比過(guò)大,造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。

選用前級(jí)泵時(shí)還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì),是否含有可凝性氣體,是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體,就不能選用油封機(jī)械泵,油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體,否則將會(huì)使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí),也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時(shí)的高的抽氣速率,可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組,此時(shí)羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。

 

半導(dǎo)體設(shè)備羅茨真空泵產(chǎn)品圖片

<strong><strong><strong>半導(dǎo)體設(shè)備羅茨真空泵</strong></strong></strong>

 

 


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