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便攜式智能氣路控制儀是基于熱式氣體質(zhì)量流量控制器，來進行四種氣體（強腐蝕性氣體除外）混合，濃度稀釋的一種裝置。可根據(jù)客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進行控制。
智能氣路控制儀是基于熱式氣體質(zhì)量流量控制器，來進行多種氣體混合，濃度稀釋的一種裝置?？筛鶕?jù)客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進行控制。
產(chǎn)品優(yōu)勢：
? 流量監(jiān)測、記錄 ? 自動多段進氣
? 濃度自動配比 ? 多種氣體可選
? MFC 故障監(jiān)測 ? 超壓檢測與報警處理
? 無線通訊控制（可定制） ? 手機APP監(jiān)測（可定制）
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 | 智能氣路控制儀 | |
項目 | 參數(shù) | 備注 |
流量范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)四路 | 100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM (其他量程可定制，至大量程不超過30SLM) |
精度 | ±1%F.S. | 其他精度可選 |
響應(yīng)時間 | 2秒 | |
重復(fù)性 | 0.2%F.S. | 單路重復(fù)精度0.2%F.S. |
截止功能 | ≤0.6MPa | 標(biāo)配，位于總出氣口，常閉截止閥 |
整機尺寸 | 490mm×500mm×200mm | 深×寬×高 |
供電電壓 | 220VAC | 100W |
單項功能 | √ | 4路標(biāo)配，位于混氣前，避免氣體返流 |
自動進氣 | √ | 4路標(biāo)配，按時間和流量自由編輯 10段數(shù)據(jù)點，3組數(shù)據(jù)切換，任意循環(huán)（定制） 可實現(xiàn)：濃度配氣，時間配氣，壓力配氣 |
自動報警 | √ | 標(biāo)配，自動報警，自動關(guān)斷，實時監(jiān)控設(shè)備狀態(tài) |
數(shù)據(jù)處理 | √ | 標(biāo)配，數(shù)據(jù)記錄保存，導(dǎo)出到U盤進行存儲 |
外接通訊 | 可選 | MODBUS-RTU |
漏率 | ＜1×108atm.cc /sec He | |
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