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愛(ài)德華EXT75D 愛(ài)德華EXT75D真空泵

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EXT75DX 是一種是混合軸承復(fù)合分子泵,它將經(jīng)實(shí)踐證明的陶瓷機(jī)械下軸承、干式永磁上軸承和 Holweck 分級(jí)技術(shù)與帶來(lái)額外便利性的板上 24 V 控制器結(jié)合在了一起,該控制器可實(shí)現(xiàn)與 TAG 和 TIC 控制器兼容的并行和串行通信。 它隨附 aDN40NW、ISO63、DN63CF 或 ISO100 入口法蘭,N2 抽速Z高可達(dá) 66ls-1。

 

功能和優(yōu)勢(shì)
·         通過(guò)板上智能控制可以降低運(yùn)行功耗,減少運(yùn)行成本。此外,這種控制器還增加了電子制動(dòng)、智能冷卻風(fēng)扇和自動(dòng)排氣選件。
·         Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個(gè)或多個(gè)真空計(jì)而不需要額外的顯示控制器。
·         并行或串行接口。
o    并行模式允許使用傳統(tǒng)控制信號(hào)界面。
o    串行模式提供 RS232,可以全面控制泵狀態(tài),并連續(xù)監(jiān)控:
§ 排氣閥控制設(shè)置
§ 運(yùn)行速度指示
§ 待機(jī)運(yùn)行速度
§ 可編程功率設(shè)置
§ 功耗
§ /控制器溫度
·         標(biāo)配的入口篩網(wǎng)。
·         用于清潔泵、減少振動(dòng)和zui大程度降低磨損的永磁上軸承。
·         手動(dòng)排氣閥(電磁閥操作的型號(hào)可以用于全自動(dòng)排氣)。
·         Holweck 分級(jí)實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級(jí)壓力容差。
·         氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護(hù)電機(jī)和下軸承。
技術(shù)數(shù)據(jù)

入口法蘭
DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW DN100ISO-K
抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100)
  N2
61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1
  He
57 ls-1  (49 ls-1) (59 ls-1
  H2
53 ls-1  (48 ls-1) (54 ls-1
壓縮比
  N2
>1 × 1011
  He
1 x 106
  H2
5 x 104
極限壓力 (mbar)
帶有 RV 前級(jí)泵 ISO/CF
<5 x 10-9 / 5 x 10-10
帶有隔膜前級(jí)泵 ISO/CF
<5 x 10-8 / 5 x 10-9
出口法蘭
DN16NW
*前級(jí)泵*
RV5/nXDS5i
排氣口
1/8 英寸 BSP
吹掃口
1/8 英寸 BSP
zui大連續(xù)進(jìn)氣口壓力(輕氣體泵送)
水冷卻(15 °C 水,40 °C 環(huán)境溫度)
2 × 10-2 mbar
強(qiáng)制空氣冷卻,35°C 環(huán)境溫度
1 × 10-2 mbar
泵旋轉(zhuǎn)速度
標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度
90000 rpm
待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度
49500 90000 rpm 之間變化
63000 rpm 默認(rèn))
可編程功率限制設(shè)置
可在 50 120 W 之間變化(默認(rèn)為 80 W
90% 速度的啟動(dòng)時(shí)間
110 s ‡
模擬輸出
轉(zhuǎn)速;
功耗;泵溫度;控制器溫度
冷卻方法#
強(qiáng)制空氣/
強(qiáng)制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度
5 - 35 °C
zui小冷卻水流速(15 °C 的水)
15 l h-1
水溫范圍
10 - 20 °C
zui高入口法蘭溫度
100 °C
操作姿態(tài)
垂直且豎直,直到
水平
1 米處的噪音級(jí)別
<50 dB(A)
泵可以承受的zui大磁場(chǎng)
5 mT
*控制器
TIC100 分子泵和儀器控制器
靜止電功率
10 W

 

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