真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡庙氂星凹壉门浜戏娇墒褂迷谳^寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
　　
1、旋片式真空泵
　　
轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個（或兩個以上）旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。旋片式真空泵屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級泵。旋片泵多為中小型泵，產(chǎn)品已經(jīng)系列化。旋片泵有單級和雙級兩種，一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵絕大多數(shù)是單工作腔結(jié)構(gòu)，常用兩個徑向滑片，也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片真空泵也有應(yīng)用。
　　
2、滑閥式真空泵
　　
在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個滑閥，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導(dǎo)軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結(jié)構(gòu)不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機(jī)構(gòu)來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。
　　
3、定片式真空泵
　　
在泵殼內(nèi)裝有一個與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子，泵殼上裝有一個始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。定片式真空泵抽速較小，有單級、雙級之分，雙級泵的極限真空可達(dá)10-1Pa。泵的結(jié)構(gòu)簡單、使用壽命較長和檢修容易，但由于其工作性能不如旋片泵，所以目前已經(jīng)很少生產(chǎn)和應(yīng)用。
　　
4、余擺線式真空泵
　　
在泵腔內(nèi)偏心裝有一個型線為余擺線的轉(zhuǎn)子，它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動并將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。泵的動平衡性好，所以泵運(yùn)轉(zhuǎn)較平穩(wěn)、振動亦小，轉(zhuǎn)速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，適合發(fā)展為大抽速的機(jī)械真空泵。由于吸氣管路短而粗，有利于提高低壓力下的抽速。因此，在低壓范圍內(nèi)（1～l00Pa）余擺線泵的抽速特性曲線優(yōu)于滑閥泵。余擺線泵的轉(zhuǎn)子和泵體是一對共軛齒形副的嚙合運(yùn)動，所以對被抽氣體中含有一定量的粉塵及小顆粒等不太敏感。余擺線泵適應(yīng)較高溫度的工作環(huán)境，可以通過溫控裝置使泵腔保持較高溫度（即成為余擺線熱泵），用來抽除大量的可凝性水蒸汽。
　　
5、多室旋片式真空泵
　　
在一個泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個電動機(jī)驅(qū)動的多個獨(dú)立工作室的旋片真空泵。

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