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江蘇風(fēng)興干燥設(shè)備有限公司
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閱讀：70發(fā)布時(shí)間：2010-12-22
為了提高精密劃片機(jī)主軸系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)精度和剛度,設(shè)計(jì)了一種帶有可變節(jié)流器與可變均壓槽相結(jié)合的動(dòng)靜壓氣體徑向微波低溫干燥設(shè)備,通過(guò)氣膜壓力反饋使彈性薄板產(chǎn)生變形,控制節(jié)流器與均壓槽參數(shù)發(fā)生變化,從而提高微波低溫干燥設(shè)備剛度.詳細(xì)介紹流化床干燥設(shè)備了該微波低溫干燥設(shè)備的結(jié)構(gòu)、工作原理與工作過(guò)程,并與普通雙排八孔動(dòng)靜壓空氣徑向微波低溫干燥設(shè)備的承載力和剛度特性進(jìn)行了對(duì)比試驗(yàn)分析,結(jié)果表明該新型微波低溫干燥設(shè)備的承載力和剛度均明顯高于普通微波低溫干燥設(shè)備.隨著集成電路由大規(guī)模向超大規(guī)模發(fā)展，集成度越干燥設(shè)備來(lái)越高，劃片工藝的晶圓片成噴霧干燥機(jī)本也大幅增加。晶片直徑越來(lái)越大，目前已達(dá)到中300mm；劃切槽越來(lái)越窄，一般在30一40林m。這對(duì)于以金剛石砂輪作為刀具的強(qiáng)力磨削加工工藝來(lái)說(shuō)，己進(jìn)人臨界尺寸；硅片直徑由例50mm增大到倪oomm，面積只增加78%，但其中可供芯片利用的面積增加了90%，晶圓片的成本和價(jià)
值大幅度增加，這些給劃片機(jī)的加工精度、可靠性、穩(wěn)定性提出越來(lái)越苛刻的要求，使劃片設(shè)備的設(shè)計(jì)技術(shù)更加復(fù)雜，加工制造更加困難·‘〕。鑒于其技術(shù)的復(fù)雜性，大尺寸精密劃片機(jī)需要有效解決機(jī)械系統(tǒng)的高剛度、高穩(wěn)定性、低損耗等一系列技術(shù)問(wèn)題t'！。劃片機(jī)的切割機(jī)理是強(qiáng)力磨削，其通過(guò)主軸帶動(dòng)金剛石外圓刀具高速旋轉(zhuǎn)（3。oo一60000r/min）切割晶片。主軸是強(qiáng)力磨削的執(zhí)行部件，其軸線旋轉(zhuǎn)精度、剛度和運(yùn)轉(zhuǎn)的平穩(wěn)性直接氣流干燥機(jī)影響劃片機(jī)的精度，是劃片機(jī)的核心部件，因此，要求主軸旋轉(zhuǎn)精度小于2卜m。目前，精密劃干燥設(shè)備片機(jī)中的主軸系統(tǒng)一般采用高速電主軸，微波低溫干燥設(shè)備的性能對(duì)電主軸的使用功能極為重要。目前電主軸采用的微波低溫干燥設(shè)備主要有滾動(dòng)微波低溫干燥設(shè)備、磁懸浮微波低溫干燥設(shè)備和氣體微波低溫干噴霧干燥機(jī)燥設(shè)備。滾動(dòng)微波低溫干燥設(shè)備剛度高、標(biāo)準(zhǔn)化程度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、價(jià)格適中．主要適用于速度和精度要
求不是很高的情況；磁懸浮微波低溫干燥設(shè)備高速性能好、精度高，容易實(shí)現(xiàn)診斷和在線監(jiān)控，但由于電磁測(cè)控系統(tǒng)復(fù)雜，價(jià)格昂貴，至今未能得到廣泛應(yīng)用r"；氣體微波低溫干燥設(shè)備具有轉(zhuǎn)速高、精度高、結(jié)構(gòu)緊湊、摩擦功耗低、使噴霧干燥機(jī)用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，特別適合做高速回轉(zhuǎn)副的支承元件〔‘」。但由于氣體本身所固有的物理特性的限制，仍不能克服氣體微波低溫干燥設(shè)備干燥設(shè)備承載能力和剛度較低這一主要缺點(diǎn)，而這正是限制其應(yīng)用范圍的氣流干燥機(jī)一個(gè)主要因素。目前國(guó)內(nèi)、外也出現(xiàn)了很多提高靜壓氣體微波低溫干燥設(shè)備剛度、精度的方法，有傳統(tǒng)改進(jìn)型、被動(dòng)控制型、主動(dòng)控制型、復(fù)合控制型等【’一”1。在此提出一種帶有可變節(jié)流器與可變均壓槽相結(jié)合的動(dòng)靜壓氣體徑向微波低溫干燥設(shè)備新結(jié)構(gòu)。1微波低溫干燥設(shè)備結(jié)構(gòu)與原理1.1微波低溫干燥設(shè)備結(jié)構(gòu)所設(shè)計(jì)·的新型高剛度動(dòng)崢壓氣體徑向微波低溫干燥設(shè)備結(jié)構(gòu)如圖1所示。其
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