江蘇風(fēng)興干燥設(shè)備有限公司
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閱讀：58發(fā)布時間：2010-12-22
為了提高精密劃片機主軸系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)精度和剛度,設(shè)計了一種帶有可變節(jié)流器與可變均盤式干燥機壓槽相結(jié)合的動靜壓氣體徑向真空微波干燥設(shè)備,通過氣膜壓力反饋使彈性薄板產(chǎn)生變形,控制節(jié)流器與均壓槽參數(shù)發(fā)生變化,從而提高真空微波干燥設(shè)備剛度.詳細介紹了該真空微波干燥設(shè)備的結(jié)構(gòu)、工作原理與工作過程,并與普通雙排八孔動靜壓空氣徑向真空微波干燥設(shè)備的承載力干燥設(shè)備和剛度特性進行了對比試驗分析,結(jié)果表明該新型真空微波干燥設(shè)備的承載力和剛度均明顯高于普通真空微波干燥設(shè)備.隨著集成電路由大規(guī)模向超大規(guī)模發(fā)展，集成度越來越高，劃片工閃蒸干燥機藝的晶圓片成本也大幅增加。晶片直徑越來越大，目前已達到中300mm；劃切槽越來越窄，一般在30一40林m。這對于以金剛石砂輪作為刀具的強力磨削加工工藝來說，己進人臨界尺寸；硅片直徑由例50mm增大到倪oomm，面積只增加78%，但其中可供芯片利用的面積增加了90%，晶圓片的成本和價值大幅度
增加，這些給劃片機的加工精度、可靠性、穩(wěn)定性提閃蒸干燥機出越來越苛刻的要求，使劃片設(shè)備的設(shè)計技術(shù)更加復(fù)雜，加工制造更加困難·‘〕。鑒于其技術(shù)的復(fù)雜性，大尺寸精密劃片機需要有效解決機械系統(tǒng)的高剛度、高穩(wěn)定性、低損耗等一系列技術(shù)問題t'！。劃片機盤式連續(xù)干燥機的切割機理是強力磨削，其通過主軸帶動金剛石外圓刀具高速旋轉(zhuǎn)（3。oo一60000r/min）切割晶片。主軸是強力磨削的執(zhí)行部件，其軸線干燥設(shè)備旋轉(zhuǎn)精度、剛度和運轉(zhuǎn)的平穩(wěn)性直接影響劃片機的精度，是劃片機的核心部件，因此，要求主軸旋轉(zhuǎn)精度小于2卜m。目前，精密劃片機中的真空干燥機主軸系統(tǒng)一般采用高速電主軸，真空微波干燥設(shè)備的性能對電主軸的使用功能極為重要。目前電主軸采用的真空微波干燥設(shè)備主要有滾動真空微波干燥設(shè)備、磁懸浮真空微波干燥設(shè)備和氣體真空微波干燥設(shè)備。滾動真空微波干燥設(shè)備剛度高、標準化程度高、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、價格適中．主要適用于速度和精度要求不是很高的情況；磁懸浮真空微波干燥設(shè)備高速性能好、精度高，容易實現(xiàn)診斷和在線監(jiān)控，但由于電磁測控系統(tǒng)復(fù)雜，價格昂貴，至今未能得到廣泛應(yīng)用r"；氣體真空微波干燥設(shè)備具有轉(zhuǎn)速高、精
度高、結(jié)構(gòu)緊湊、摩擦功耗低、使用壽命閃蒸干燥機長等優(yōu)點，特別適合做高速回轉(zhuǎn)副的支承元件〔‘」。但由于氣體本身所固有的物理特性的限制，仍不能克服氣體真空微波干燥設(shè)備承載能力和剛度較低這一主要缺點，而這正是限制其應(yīng)用范圍的一個主要真空干燥機因素。目前國內(nèi)、外也出現(xiàn)了很多提高靜壓氣體真空微波干燥設(shè)備剛度、精度的方法，有傳統(tǒng)改進型、被動控制型、主動控制型、復(fù)合控制型等【’一”1。在此提出一種帶有可變節(jié)流器與可變均壓槽相結(jié)合的動靜壓氣體徑向真空微波干燥設(shè)備新結(jié)構(gòu)。1真空微波干燥設(shè)備真空干燥機結(jié)構(gòu)與原理1.1真空微波干燥設(shè)備結(jié)構(gòu)所設(shè)計·的新型高剛度動崢壓氣體徑向真空微波干燥設(shè)備結(jié)構(gòu)如圖1所示。其介紹了大包轉(zhuǎn)臺用推力關(guān)節(jié)真空微波干燥設(shè)備的設(shè)計和加工要點,并詳細介紹了該真空微波干燥設(shè)備的摩擦副選擇、固定,潤滑槽的干燥設(shè)備設(shè)計,雙金屬材料的加工與整形以盤式連續(xù)干燥機及軸圈、座圈的加工.大包轉(zhuǎn)臺是連鑄技術(shù)的重要組成部分，是連鑄機的主要平臺設(shè)備，其主要任務(wù)是支承鋼包，將鋼包由受包位回轉(zhuǎn)到澆鑄位。鋼包升降由兩支升降液壓油缸推動，油缸兩端各連接一套推力關(guān)節(jié)真空微波干燥設(shè)備，承受鋼包及提升臂的全部質(zhì)址并隨油缸升降做來回擺動，工況極其惡劣。因此，有必要對大包轉(zhuǎn)臺用推力關(guān)節(jié)真空微波干燥設(shè)備進行研究。大包轉(zhuǎn)臺推力關(guān)節(jié)真空微波干燥設(shè)備（圖l）承受的軸向載荷很大，轉(zhuǎn)速較低，在土12”范圍內(nèi)每天擺動15次，環(huán)垅溫度在80℃以內(nèi)，周圍環(huán)境較臟，可能會有臟物進人，
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