德國(guó)Pfeiffer HLT 560 氦質(zhì)譜檢漏儀用于電磁閥閥芯檢漏應(yīng)用案例—深圳某事業(yè)有限公司
一、 電磁閥閥芯檢漏原因:
該客戶(hù)是為日本某半導(dǎo)體設(shè)備廠生產(chǎn)精密零件激光焊接（電磁閥閥芯）,一共有5個(gè)型號(hào),月產(chǎn)量2000-3000個(gè)閥. 精密零件激光焊接（電磁閥閥芯）產(chǎn)品如下圖:
由于半導(dǎo)體工業(yè)上用的氣體如硅烷（ SiH4）, 氨氣（NH3）等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對(duì)所用的閥及相關(guān)部件, 漏率要求非常嚴(yán)格, 要求成品zui終漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦質(zhì)譜檢漏儀能達(dá)到了.
二、 電磁閥閥芯檢漏方法
大概的檢測(cè)過(guò)程為:來(lái)料用放大鏡目視檢測(cè),激光焊接完成后再目視檢測(cè),zui后用氦氣質(zhì)譜檢漏儀做zui后檢測(cè),漏率值以氦氣檢漏儀測(cè)出的數(shù)據(jù)為準(zhǔn).
客戶(hù)以前用的是日本某品牌的檢漏儀,現(xiàn)在新上的項(xiàng)目都改為德國(guó)Pfeiffer的HLT 560這一款檢漏儀,這是因?yàn)?/span>,只有德國(guó)Pfeiffer的HLT 560能滿(mǎn)足這么高的漏率值測(cè)試,且數(shù)據(jù)可靠.另外還具有操作簡(jiǎn)單,生產(chǎn)效率高的優(yōu)點(diǎn).
三、電磁閥閥芯檢漏操作說(shuō)明
1）先將閥接入工裝,形成一個(gè)密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.
2）啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀, 檢漏儀開(kāi)始抽取密閉腔體中的氣體,同時(shí)顯示一個(gè)漏率值.
3）在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時(shí)觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無(wú)變化.
4）如果漏率值上升,說(shuō)明噴氦氣的地方有漏,該被檢對(duì)象質(zhì)量不合格.如果漏率值能達(dá)到要求,該被檢對(duì)象合格,檢漏檢測(cè)完成.
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