處理的氣體包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下優(yōu)點(diǎn)：
1. 整機(jī)設(shè)計(jì)美觀, 安全標(biāo)準(zhǔn)。
2．擁有處理量特大﹑效率高﹑及長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)。
3．操作容易上手、保養(yǎng)簡(jiǎn)單快速、零料件經(jīng)久耐用，性?xún)r(jià)比高
4．燃燒反應(yīng)室可定時(shí)自動(dòng)清潔, 長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)效率穩(wěn)定。

     韓國(guó)MAT尾氣處理設(shè)備（Scrubber）適用于：非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、液晶顯示器等PECVD制程、半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中產(chǎn)生的廢氣.         
 處理的氣體包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下優(yōu)點(diǎn)：
1. 整機(jī)設(shè)計(jì)美觀, 安全標(biāo)準(zhǔn)。
2．擁有處理量特大﹑效率高﹑及長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)。
3．操作容易上手、保養(yǎng)簡(jiǎn)單快速、零料件經(jīng)久耐用，性?xún)r(jià)比高
4．燃燒反應(yīng)室可定時(shí)自動(dòng)清潔, 長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)效率穩(wěn)定。

  System type
    Heat-Wet

 Features
   * Easy Maintenance : Long PM term
   * Vertical structure : Strong for powder clogging
   * Reduced footprint
   * High performance

 Capacity & Dimensions
    500SLM
   700mm（W）x850mm（D）x1610mm（H）

 Utility
    Power（220V）, CDA, N2, Water, Drain, Exhaust