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由于真空設(shè)備長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)及其它一些因素的影響，擴(kuò)散泵的性能可能會(huì)逐漸變壞，現(xiàn)將使用中經(jīng)常出現(xiàn)的一些問(wèn)題如述如下;

1） 極限真空變低
    原因： a.系統(tǒng)中有滲漏；
           b.系統(tǒng)太臟；
           c.泵油污染；
           d.加熱功率不夠；
           e.冷卻水不足；
           f.過(guò)量或過(guò)冷的冷卻水；
           g.前級(jí)壓力高；檢查密封性能及前級(jí)管道是否有泄漏現(xiàn)象；
           h.快冷管內(nèi)有水。

2） 抽氣較慢
    原因： a.加熱功率低；
           b.油量不足；
           c.噴帽安裝位置不當(dāng)或受損。

3） 進(jìn)口壓力波動(dòng)
    原因： a.加熱器輸入功率不當(dāng)；
           b.油脫氣；
           c.擴(kuò)散泵進(jìn)口前面系統(tǒng)有滲漏。

4） 工作腔污染大
    原因： a.前級(jí)壓力高；
           b.在高于10-1Pa壓力下長(zhǎng)期工作；
           c.系統(tǒng)操作有誤。

5） 返油率過(guò)大：
    原因： a. 頂噴嘴帽松動(dòng)，間隙過(guò)大；
           b. 加熱功率不對(duì)