我國真空泵市場現(xiàn)狀綜合分析
閱讀：60發(fā)布時間：2012-11-28
真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品。產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的*的基礎產(chǎn)品。真空泵從高/超真空到粗/低真空，其產(chǎn)品大致可分14大類：
高/超真空—低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵。
中真空—干泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。
粗/低真空—單級旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復式真空泵。
真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。
目前。年增長率在7%左右。真空泵市場的年銷售額約20億美元。
國生產(chǎn)真空泵的廠家很多。僅相當于美國Kinnei公司一家真空泵的年銷售額。通過對真空泵市場的分析我可以看出，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右。各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發(fā)展。國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎，國產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個不同領域得到應用并經(jīng)過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應該說我國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。
1.液環(huán)泵
雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵。液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%僅次于干泵，但在國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領域仍然有著很大的市場。國外。所以NashSeimem和Kinnei等公司都在國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡，不斷擴大在國的*。由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢，關鍵是要改進設計，縮小體積，減輕重量，提率，降低能耗。
2.滑閥泵
由于滑閥泵比較耐用、可靠。但是滑閥泵鑄件重，國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵。加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。
3.直聯(lián)旋片泵
隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大。加工裝配工作量很大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多。價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術上已經(jīng)過關，價格又遠比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠，同時還要進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。
4.羅茨泵
從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看。如LeyboldBalzerAlcaEdward和ULVAC各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%這5家總計才20%羅茨泵產(chǎn)量不大，國外幾家大公司。但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。目前，國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領國內(nèi)市場基礎上設法進入市場，這樣就必須進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲，*解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。
目前。技術上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快。其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到長期運行的考驗，所以應該在國內(nèi)大力推廣和應用。
5.分子泵
尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復合分子泵和牽引泵作為主泵。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵。
由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一。國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速。稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。
6.干泵
國外干泵市場的不斷增長。半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。日本。歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa抽速從20m3/h~500m3/h據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應用還不足1%國內(nèi)半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，國應大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。
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