狀態(tài)檢測技術(shù)，信息技術(shù)Bian技術(shù)在航空航天，軍事，環(huán)境，安全檢查和瓦斯氣體傳感器等領(lǐng)域廣泛使用的實(shí)時監(jiān)控，報(bào)警，并在食品，化工和其他工業(yè)領(lǐng)域也廣泛使用氣體傳感器氣體的氣味識別。應(yīng)用需求驅(qū)動的氣體傳感器技術(shù)的快速增長，在國內(nèi)和在這方面的研究，不斷深化，已開發(fā)了許多不同類型的氣體傳感器，可滿足不同要求的場合。把傳感器和集成電路的檢測分析，半定量分析定量檢測特定氣體。在這些氣體傳感器，金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器是一種價格低，便于批量生產(chǎn)的功能，導(dǎo)致更多的應(yīng)用。
金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器是利用半導(dǎo)體材料顆粒特定氣體吸附的表面電阻值所作的特性變化，它是一個電阻型傳感器，檢測氣體的目標(biāo)，其氣體的電阻值和氣體的濃度有一定關(guān)系。傳統(tǒng)的金屬氧化物氣體傳感器結(jié)構(gòu)不僅是大，巨大的功耗是非常高，在許多場合，無法滿足要求，同時使用氣體傳感器裝置的發(fā)展需求，市場需求方便，價格便宜，因此微型傳感器的研究和發(fā)展，是傳感器技術(shù)的不斷發(fā)展的必然方向?yàn)樾乱淮臍怏w傳感器的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。利用成熟的半導(dǎo)體微電子技術(shù)和厚膜技術(shù)，薄膜技術(shù)制造的氣體傳感器，可實(shí)現(xiàn)微器件，集成，降低設(shè)備的功耗，設(shè)備和傳感器，以實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，從而降低了成本，同時傳感器的一致性和可靠性可以得到保證。在20世紀(jì)，20世紀(jì)90年代以來，微機(jī)械加工技術(shù)，傳感器制造技術(shù)的變化，MEMS技術(shù)用于氣體傳感器的性能得到進(jìn)一步改善。微電子技術(shù)，通常只為兩維結(jié)構(gòu)的制造，微加工技術(shù)，可以創(chuàng)建一個氣體傳感器微結(jié)構(gòu)的三維結(jié)構(gòu)，電源感應(yīng)裝置，使微型傳感器在進(jìn)一步下降結(jié)構(gòu)具有許多優(yōu)異的性能，體積小，功耗低，工作溫度可測量和控制，沒有對環(huán)境的影響，低成本的大批量生產(chǎn)，一致性和可靠性。易和信號采集和處理集成電路，實(shí)現(xiàn)智能化。
一個傳感器或分離元件，由于長期的穩(wěn)定性和選擇性的問題，無法滿足實(shí)際應(yīng)用的要求;和其他涉及使用傳感器的大量實(shí)際問題，分析對象氣體是混合物成分的混合物，混合氣體成分標(biāo)識已成為氣體測量傳感器技術(shù)的研究和發(fā)展在峰 會。在一個單一的傳感器的選擇性是相對容易改善的情況下，可以在使用的傳感器的數(shù)量或改變氣體傳感器的信號提取功能的工作條件，解決這個問題的判別。將單獨(dú)的傳感器結(jié)合組成的傳感器陣列，這種通過從原來單一的傳感器陣列的多參數(shù)的單一參數(shù)的傳感器信號接入，增加信息量。傳感器陣列的研究在國內(nèi)外已作出許多科研單位，并已取得了很大進(jìn)展。但只各種傳感器的組合，這將是難以打破狹隘的情節(jié)，實(shí)際應(yīng)用將受到限制。利用氣體傳感器易于集成優(yōu)勢的微觀結(jié)構(gòu)，氣體傳感器模塊集成在同一芯片，微結(jié)構(gòu)傳感器陣列器件的發(fā)展。微氣體傳感器陣列，以滿足出現(xiàn)的傳感器集成，功能和智能化發(fā)展。微型氣體傳感器陣列的種類氣體傳感技術(shù)目前已成為一個熱門的一個方向，它保持了結(jié)構(gòu)的微型傳感器體積小，功耗低等優(yōu)點(diǎn)，可以有效地克服單一氣體傳感器的選擇性不高，提高氣體檢測的可靠性，它可以被應(yīng)用到模式識別技術(shù)用于氣體智能識別系統(tǒng)，不僅可以提高區(qū)分氣體的能力，但個別設(shè)備出現(xiàn)故障不影響工作大局，具有一定的耐受性的。作為傳感器檢測裝置中的實(shí)際應(yīng)用，如小的氣體檢測系統(tǒng)或人工嗅覺系統(tǒng)的，綜合使用的微型傳感器陣列結(jié)構(gòu)，可以提高氣體檢測的準(zhǔn)確性，而且還縮短了測試時間。
智能氣體傳感器是目前在同一方向，微型傳感器陣列和信號處理電路的微處理器，使這兩種檢測傳感器，判斷和信息處理功能。目前，國外氣體傳感器和微控制器集成到IC的氣體報(bào)警器本身出現(xiàn)。此外，隨著信息技術(shù)的發(fā)展，特別是計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的進(jìn)步，正確的智能傳感器接口通信功能的新要求。為了實(shí)現(xiàn)協(xié)同和統(tǒng)一，基于現(xiàn)場總線的智能傳感器網(wǎng)絡(luò)信息收集，處理和傳輸，這是一個新的傳感器技術(shù)應(yīng)用，使用標(biāo)準(zhǔn)的通信協(xié)議的智能傳感器的數(shù)據(jù)，沒有專門的電路和軟件，可以直接連接到其他設(shè)備。
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