Entegris過(guò)濾器 Wafergard®II SF 3XP
Entegris是材料完整性管理的*。該公司提供技術(shù),產(chǎn)品和服務(wù)解決方案,凈化,保護(hù)和運(yùn)輸半導(dǎo)體和其他高科技行業(yè)中使用的關(guān)鍵材料。這些解決方案在制造和服務(wù),并在美國(guó),中國(guó),法國(guó),德國(guó),日本,馬來(lái)西亞,新加坡,韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣提供支持。Entegris獲得ISO 9001認(rèn)證。
Entegris公司主要產(chǎn)品:Entegris過(guò)濾器。
Entegris有*的承諾質(zhì)量的傳統(tǒng)。Entegris為獲得ISO 9001:2000認(rèn)證,Entegris的質(zhì)量管理體系的基礎(chǔ)以及ISO 14001認(rèn)證感到自豪。此外,Entegris聘用許多其他質(zhì)量工具,流程,控制和政策 - 所有開(kāi)發(fā),以滿(mǎn)足苛刻的需求Entegris的流程和Entegris的客戶(hù)的*需求。ISO 9001認(rèn)證承諾客戶(hù)滿(mǎn)意度的組織自愿追求Entegris的設(shè)計(jì),制造和服務(wù)流程的質(zhì)量。它驗(yàn)證Entegris的產(chǎn)品和服務(wù)是用符合標(biāo)準(zhǔn)的書(shū)面質(zhì)量控制程序生產(chǎn)的。
Entegris過(guò)濾器
當(dāng)涉及空氣,散裝氣體或規(guī)格氣體的過(guò)濾和凈化時(shí),Entegris擁有專(zhuān)業(yè)知識(shí),技術(shù)和解決方案,以滿(mǎn)足您的需求。無(wú)論是使用點(diǎn)還是散裝氣體輸送,在室內(nèi)還是在晶片上,在潔凈室或工具上,Entegris都有提供高性能氣體和空氣凈化和過(guò)濾產(chǎn)品以滿(mǎn)足您的需求的悠久歷史。
Entegris超純氣體過(guò)濾產(chǎn)品為超純氣體應(yīng)用提供0.003微米顆粒過(guò)濾。Wafergard®氣體過(guò)濾器可實(shí)現(xiàn)更高的工藝氣體通量,同時(shí)減少整個(gè)氣體盒的占地面積。
用于超高純度(UHP),高流量氣體管線(xiàn)的Wafergard®II SF 3XP迷你在線(xiàn)氣體過(guò)濾器均為316L不銹鋼收縮管,設(shè)計(jì)流量比同類(lèi)過(guò)濾器高三倍,高于三位數(shù)。設(shè)計(jì)用于高達(dá)500 SLPM的中等流速,*過(guò)濾UHP高流量應(yīng)用,如擴(kuò)散,退火,外延工具和連接。
Entegris過(guò)濾器。
產(chǎn)品參數(shù):
長(zhǎng)度
84 mm(3.31“) 94 mm(3.70“) 126.9 mm(5.00“) 133.5 mm(5.26“)
zui大流量
200 slpm
處理
散裝氣體輸送 光刻 沉積 干蝕刻 離子植入
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) LED。
產(chǎn)品型號(hào):Wafergard®II SF 3XP、Wafergard®II SF Half、Wafergard®SF、Wafergard®II SF 3XP Mini XL、Wafergard®SF Micro XL、Unigard™、Gasketgard®。
Entegris公司主要產(chǎn)品:Entegris過(guò)濾器。
Entegris過(guò)濾器。
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