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激光干涉儀

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產(chǎn)品型號(hào)SJ6000

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所在地深圳市

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更新時(shí)間：2022-03-30 11:36:30瀏覽次數(shù)：755次

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深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

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所在地區(qū)：廣東深圳市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SJ6000激光干涉儀采用高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速（約6分鐘）、高精度（0.05ppm）。

詳細(xì)介紹

　1. 簡(jiǎn)介

1.1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

　　激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長(zhǎng)為單位的高精度、高靈敏度檢測(cè)設(shè)備，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

　　SJ6000激光干涉儀采用高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強(qiáng)、*穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線性鏡組能實(shí)現(xiàn)0.5ppm精度的線性測(cè)量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實(shí)現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測(cè)量，并進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。

　　SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、分辨力高等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的精密測(cè)量，并能對(duì)設(shè)備進(jìn)行速度、加速度、頻率-振幅、時(shí)間-位移等動(dòng)態(tài)性能分析。

　　在相關(guān)軟件的配合下，可自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償方案，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。

2. 功能特點(diǎn)

2.1. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)

激光干涉儀測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨力可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光*穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

激光干涉儀可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測(cè)功能?？梢詸z測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。

可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為機(jī)床誤差修正的提供依據(jù)。

具有動(dòng)態(tài)測(cè)量(位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線) 及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)量與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國(guó)標(biāo)(GB) 、ISO() 、BS(英制) 、美標(biāo)、DIN(德標(biāo)) 、JIS(日標(biāo))共10份 ?？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。