中圖儀器機(jī)床激光干涉儀sj6000采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。儀器具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
在機(jī)床激光干涉儀sj6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
功能特點(diǎn)
1、精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
2、功能廣
(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;
(2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);
(4)可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
3、軟件強(qiáng)
(1)友好的人機(jī)界面;
(2)豐富的應(yīng)用功能模塊;
(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
(4)簡(jiǎn)潔化的記錄管理;
(5)支持中文、英文和俄文界面;
(6)支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。
4、標(biāo)準(zhǔn)多
內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn),包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國(guó)內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)??梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
激光干涉儀對(duì)機(jī)床精度再校準(zhǔn)
任何機(jī)床加工設(shè)備,在長(zhǎng)時(shí)間的使用都會(huì)由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。一般出現(xiàn)這種情況時(shí),就需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn),SJ6000激光干涉儀可同時(shí)測(cè)量出機(jī)床的螺距誤差值和反向間隙(又稱(chēng)背隙),通過(guò)精度再校準(zhǔn),加工精度會(huì)大大提高。
激光干涉儀在機(jī)床維修后的重新測(cè)量和補(bǔ)償
當(dāng)機(jī)床大修過(guò)后,裝配上的精度和位置都有變化,此時(shí)就需要再重新進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償。
在安裝絲桿中,絲桿鎖緊螺母擰得很緊,絲桿預(yù)拉過(guò)大,絲桿將被拉長(zhǎng),螺距變長(zhǎng),這在起點(diǎn)處影響較小,但在接近終點(diǎn)處因螺距積累誤差,將會(huì)產(chǎn)生較大的位置誤差。同樣預(yù)拉過(guò)小,也會(huì)發(fā)生螺距變小。
在裝絲桿軸承座時(shí),一定要將錐銷(xiāo)敲到位,否則絲桿整體與導(dǎo)軌不平行,螺距變小,此時(shí)就可以通過(guò)SJ6000激光干涉儀來(lái)測(cè)量,進(jìn)行正確的螺距誤差補(bǔ)償,使設(shè)備精度達(dá)到要求。
激光干涉儀對(duì)機(jī)床定期檢測(cè)、補(bǔ)償
隨著數(shù)控機(jī)床的不斷使用,機(jī)床不斷產(chǎn)生磨損,精度就會(huì)產(chǎn)生變化,此時(shí)就需要對(duì)機(jī)床進(jìn)行一個(gè)定期的維護(hù)保養(yǎng),延長(zhǎng)機(jī)床使用壽命。首先維護(hù)保養(yǎng)機(jī)床的幾何精度,其次是定位精度,這時(shí)候就需要激光干涉儀進(jìn)行檢測(cè)補(bǔ)償。
部分技術(shù)指標(biāo)
主機(jī)
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz
預(yù)熱時(shí)間:≤ 6分鐘
工作溫度范圍:(0~40)℃
存儲(chǔ)溫度范圍:(-20~70)℃
環(huán)境濕度:(0~95)%RH
環(huán)境補(bǔ)償單元
空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa
線性測(cè)量距離:(0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)
角度測(cè)量范圍:±10°
平面度測(cè)量范圍:±1.5mm
直線度測(cè)量范圍:±3mm
垂直度測(cè)量范圍:±3/M mm/m
便攜箱尺寸:613*460*230mm
標(biāo)準(zhǔn)配置重量:18kg
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