真空閥門密封結(jié)構(gòu)
（1）磨砂玻璃表面密封
玻璃真空活塞是利用閥瓣和閥孔接觸表面緊密貼合實現(xiàn)密封，這就要求對接觸表面進行研磨，并涂敷真空油蠟。
玻璃真空活塞工作壓力在10-2Pa或更低一些，多用于真空校準系統(tǒng)及玻璃真空系統(tǒng)中。但由于玻璃的脆性及活塞磨口處涂有一層油脂，限制了它的使用范圍， 一般尺寸較小。國產(chǎn)玻璃真空活塞系列產(chǎn)品公稱尺寸為 DN2?20,有直角、二通和三路直角通等類型。
（2）橡膠密封圈密封
真空閥門的橡膠墊密封結(jié)構(gòu)有6種，結(jié)構(gòu)用于較大口徑的真空閥，結(jié)構(gòu)必須在閥座上加工密封槽。為便于加工此槽，必須把閥座和閥體分成兩部分，成為可拆卸的結(jié)構(gòu)，這樣在結(jié)構(gòu)上又增加了一道密封。所以絕大多數(shù)的閥門都是在閥瓣上開密封槽。有的需要加工燕尾，較麻煩，圖有的需加一個壓板。需要指出的是，在確定閥瓣結(jié)構(gòu)時，要注意兩點。一是密封圈要固定牢，長期啟閉不脫落；二是閥桿與閥瓣不要使用剛性連接，特別是口徑大的閥門， 閥桿與閥瓣之間一定要采用活動連接，否則由于受力不均勻，保證不了閥口的氣密封性。
（3）真空閥門的分類：
GI型-高真空蝶閥、GIQ型-氣動高真空蝶閥、GID型-電動高真空蝶閥、GU型-高真空(壓力)球閥、GUQ型-氣動高真空(壓力)球閥、GUD型-電動高真空(壓力)球閥、GM型-高真空(壓力)隔膜閥、GD型-高真擋板閥空、GDQ型-氣動高真空擋板閥、YGD型-高真空擋板閥、YGDQ型-氣動高真空擋板閥、GD-S型-高真空三通擋板閥、CC型-超高真空插板閥、CCQ型-氣動超高真空插板閥、CCD型-電動超高真空插板閥、DDC-JQ型-電磁真空袋充氣閥、DDC-JQ-B型電磁真空帶充氣閥、GDC-Q5\GDC-Q5型電磁真空帶充氣閥、GYC-JQ型高真空電磁壓閥式充氣閥、DYC-JQ型電磁真空壓差閥等。
（4）國內(nèi)真空閥門的金屬密封墊是針閥，閥芯材料一般是淬火鋼，閥 座用錫或銅等軟金屬制成。閥芯錐度為1 : 50或6°錐角。閥芯表面要經(jīng)過精細研磨，以使錐面緊密配合, 針閥主要用來調(diào)節(jié)氣流量，針形閥桿能實現(xiàn)氣流量連 續(xù)細微的調(diào)節(jié)。超高真空密封結(jié)構(gòu)，一般閥瓣由無氧高異銅軟金屬制成，而閥座由不銹鋼等硬金屬制成刀口形。閥瓣被壓緊時，刀口楔入閥瓣軟金屬，靠軟金屬塑性變形使密封面緊密貼合達到密封。
為了保證密封性，閥門每次關(guān)閉時，都必須俾刀痕很好重合，刀尖倒角及定位裝置就是保證刀痕重合的措施之一，一般采用刀尖圓角半徑為0.1mm 或 0.2mm. 刀口形狀對閥門性能也有影響，直角形刀口所需 轉(zhuǎn)矩稍大一些。
（5） 國外采用的金屬墊密封結(jié)構(gòu)形式有四種。
1.不銹鋼刀口與銅墊相結(jié)合，缺點是刀痕多次重復定位困難，同時墊圈受壓時容易向刀口兩側(cè)滑移，降低了界面壓力。
2.不銹鋼平座與凸起的鋁墊相結(jié)合，優(yōu)點是鋁墊壓在光滑的不銹鋼座上不會產(chǎn)生壓痕，因而壓緊位置不重合也沒有關(guān)系，同時凸起受壓后靠基體本身變形來閉鎖•缺點是不適于閥蓋本身關(guān)閉烘烤，因在 高溫下墊圈本身會產(chǎn)生滑移。
3.不銹鋼平座與升角1.5°?2.5°的銅墊和鋁墊相結(jié)合，其優(yōu)點是對壓緊位置的重合性要求不高，缺點是不能壓得過緊，否則密封面積隨壓力急增a開啟烘烤溫度可達400℃。
4.采用不銹鋼平座與不銹鋼凸緣結(jié)合。凸緣表面鍍金或銀，就像在接觸表面之間加入一個薄的軟墊圈，鍍層厚度應(yīng)能阻止軟金屬從界面中擠出，因而能產(chǎn)生大大超過鍍層屈服極限的界面壓力。凸緣頂部圓角半徑很小，使密封面寬度限制在0.254?0.304mm之內(nèi)，可減小密封力和維持密封力恒定。在閥蓋開啟或關(guān)閉狀態(tài)下都可進行烘烤》 但是這種密封配合表面精度要求較高，如果表面有了淺的凹痕，對位置重合要求就更高，否則會產(chǎn)生微漏，所以選用時要注意真空閥門密封結(jié)構(gòu)。
