中國臺灣AutoBo真空泵

渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。

渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。

旋片式真空泵是真空技術(shù)中基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。

旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10^-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。

旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉(zhuǎn)時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。

旋片式真空泵泵內(nèi)偏心安裝的轉(zhuǎn)子與定子固定面相切，兩個（或以上）旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動（通常為徑向）并與定子內(nèi)壁相接觸，將泵腔分為幾個可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵。通常，旋片與泵腔之間的間隙用油來作為密封，所以旋片真空泵一般是油封式機(jī)械真空泵。

"前級泵"這個名詞在真空機(jī)組中見的比較多，主要是幫助主泵羅茨真空泵啟動，羅茨真空泵一般情況下不能在常壓下啟動，如果要啟動電機(jī)功率相當(dāng)大，而且對泵的運(yùn)行有傷害。而且通過配用不同的前級泵可以運(yùn)用到不同的環(huán)境。如配用水環(huán)式真空泵，就可以抽除含有大量可凝性蒸氣和帶有一定腐蝕性的氣體（通過水稀釋腐蝕性氣體濃度）。常見的前級泵有：水環(huán)式真空泵、旋片式真空泵，立式無油真空泵、往復(fù)式真空泵、H、2H滑閥式真空泵等。通過選用不同的前級泵可以得到不同的真空度和抽氣速率。

中國臺灣AutoBo真空泵

AP-200V 220V 
AP-300V 220V 
AP-550V 220V 
AP-550H 220V 
AP-1400V 
AP-1400H 
AP-2000V 
AP-2000H

中國臺灣洛科Rocker真空泵

Rocker300
Rocker400
Rocker410

Tanker130
Tanker150
Tanker215
Tanker230