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原裝現(xiàn)貨中國臺灣AutoBo真空泵
羅茨真空泵不能單獨使用,必須配上前級泵組成機組,使用前級真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力,由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的,所以選擇前級真空泵的抽速是重要的,如右圖表明,羅茨真空泵的壓縮比是隨排出壓力而變化的,在高排出壓力下,壓縮比多大3:1,而壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達50:1,甚至更高些。
因此,選擇前級泵的抽速,要根據(jù)羅茨真空泵的長期工作壓力范圍考慮。
例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機組抽氣,要求在1 mbar入口壓力時有600升/秒的抽速,并長期工作,問應(yīng)選擇多大抽速的前級泵。
先假定用30升/秒的前級泵時,壓縮比K=600:30=20從上圖查得K=20時排出壓力為30 mbar。
由此得出,當(dāng)選用30升/秒前級泵時,在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。
另外應(yīng)當(dāng)考慮的是,對預(yù)抽時間的要求問題,如果正常工作時間遠比預(yù)抽時間長,可選較小的前級泵;假如真空室較大,而且要求很快預(yù)抽,就要用較大的前級泵,有時為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率,機組裝有較大的預(yù)抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級泵維持,這樣做是為了節(jié)約功率。
對羅茨真空泵機組的極限壓力的要求,也是選擇前級泵的必須考慮的,對極限真空度要求較高(達1X10-3Pa~1X10-2Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空度要求在(1X10-2Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作為前級泵,極限真空度要求在133~1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。
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