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行業(yè)產(chǎn)品

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上海華械自動化設備有限公司


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5400系列質(zhì)量流量控制器-金屬密封

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號5400

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：須工查看聯(lián)系方式

更新時間：2020-04-16 16:23:23瀏覽次數(shù)：539次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：13條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：須工 （銷售）

產(chǎn)品簡介

金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環(huán)境下

±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號更加通用

詳細介紹


5400質(zhì)量流量控制器

量程(N2)

10SCCM-20SLPM(另外50SLM)

精度

±1.0%FS

重復性

±0.2%FS

響應時間

1秒以內(nèi)

耐壓

1.0Mpa

進口大壓力

O.3Mpa

動作壓差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以下

溫度范圍

5-45℃

濕度范圍

10-90%RH(不能結(jié)露)

材質(zhì)

本體SUS316L

密封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號

0-5V輸入/輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；

管路連接

標配1/4UJR

選配1/8UJR

重量

約1000g

使用注意

一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力3公斤。

五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。


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