可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤共焦技術(shù)。

使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150X) 3D全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉測量>: 72o vs 44o) 。

具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率，附有5百萬自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī)， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的理想配置。

在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制。

應(yīng)用于透明層/薄膜。

兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。

長距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。

高穩(wěn)定性。