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北京中精儀科技有限公司
初級(jí)會(huì)員 | 第1年

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全自動(dòng)臺(tái)階儀

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地國(guó)外

更新時(shí)間:2024-11-01 20:13:00瀏覽次數(shù):41次

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臺(tái)階儀能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè),模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測(cè)儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢(shì)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提高效率。

臺(tái)階儀

臺(tái)階儀集合了共焦光學(xué)形貌儀,WLI白光干涉形貌儀,原子力顯微鏡,接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測(cè)。

項(xiàng) 目 簡(jiǎn) 述

參數(shù)說(shuō)明

1.共焦

  • 可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)共焦技術(shù)。

  • 使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150) 全視野3D鏡頭,用以表征坡度分析 (大斜率<干涉測(cè)量>: 72° vs 44°) 。

  • 具有光學(xué)形貌上高的橫向分辨率,附有5百萬(wàn)自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī), 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌的測(cè)量的理想配置。

  • 在測(cè)量表面粗糙度/表面反射率上無(wú)限制

  • 應(yīng)用于透明層/薄膜。

  • 兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。

  • 長(zhǎng)距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測(cè)量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。

  • 穩(wěn)定性。

2.干涉儀(WLI)

  • Z向高分辨率

  • 兼具相移(PSI)以及垂直掃描(VSI)模式

  • Z向分辨率可獨(dú)立放大

  • 四色CCD 相機(jī),用戶可自選的LED光源 (白光綠光、藍(lán)光和紅光)

  • 高達(dá)五百萬(wàn)像素的可自動(dòng)分辨的CCD 相機(jī)

  • 快速處理器

  • 自動(dòng)對(duì)焦

3.原子力顯微鏡

  • 探針掃描可用于大型模板

  • XY、Z三向可達(dá)原子級(jí)分辨率

  • 大壓電探針掃描XY: 達(dá)到 110x110um

4.變焦

  • 粗糙表面分析

  • 快速分析

  • 一臺(tái)設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀 高精度原子力顯微鏡









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