規(guī)格

SG-O 為您在 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測(cè)試中需要的所有內(nèi)容提供完整的規(guī)范。以下是主要組件及其詳細(xì)信息。如果您需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系！

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高度均勻的光源

• 光譜范圍：400nm 至 1700nm

• 色溫：3000K 至 5200K

• 均勻照明面積：42mm x 25mm，工作距離 >200mm

• 照度均勻度：優(yōu)于98%

• 短期光不穩(wěn)定性：≤ 1% 超過(guò) 1 小時(shí)

• 長(zhǎng)期光不穩(wěn)定性：≤ 1% 超過(guò) 10 小時(shí)

• DUT與zui后一個(gè)光學(xué)組件之間的工作距離：≥200mm工作距離

• 單色光生成：

1. 10nm FWHM 中心波長(zhǎng)：420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm

2. 25nm FWHM 中心波長(zhǎng)：1010nm, 1250nm, 1450nm

3. 45±5nm FWHM 中心波長(zhǎng)： 815nm

4. 50nm FWHM 的中心波長(zhǎng)：1600nm

5. 60±5nm FWHM 中心波長(zhǎng)：650nm

6. 70±5nm FWHM 的中心波長(zhǎng)：485nm, 555nm

7. 100±5nm FWHM 的中心波長(zhǎng)：1600nm

• 帶外透光率 ≤ 0.01%

• 帶通區(qū)峰值傳輸 ≥ 80%

• 中心波長(zhǎng)容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm

• FWHM 容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm

• 可變衰減器：PC 控制的 3-decade 分辨率，至少 1000步

半自動(dòng)晶圓探針

• 晶圓尺寸能力：200mm、150mm、100mm 晶圓和尺寸大于 1cm x 1cm 的單芯片

• 晶圓處理：?jiǎn)尉A，手動(dòng)進(jìn)料型

• 半自動(dòng)化：一步手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)教和自動(dòng)模步進(jìn)

• XYZ 平臺(tái)

• 卡盤(pán) XY 載物臺(tái)行程：210mm x 300mm

• 卡盤(pán) XY 平臺(tái)分辨率：優(yōu)于 0.5um

• 夾頭 XY 平臺(tái)精度：優(yōu)于 2.0um

• 卡盤(pán) XY 平臺(tái)速度：最慢：10 微米/秒，zui快：50 毫米/秒

• Chuck Z 載物臺(tái)行程：50mm

• Chuck Z 平臺(tái)分辨率：0.2um

• 卡盤(pán) Z 平臺(tái)精度：±2.0um

• Theta 平臺(tái)

• Theta 載物臺(tái)行程：± 5 度運(yùn)動(dòng)范圍

• Theta 分辨率：優(yōu)于 0.01 度

• Theta 精度：0.1 度

• 卡盤(pán)

• 卡盤(pán)平整度 ≤ 10um

• 卡盤(pán)熱操作：-60°C 至 200°C

• 25°C 時(shí)的卡盤(pán)泄漏： 25°C 時(shí)在 10V 偏壓下每個(gè)電壓 ≤ 20fA

• 卡盤(pán)剩余電容 ≤ 95fF

• 探針卡

• 探針卡尺寸：4.5 英寸至 8 英寸長(zhǎng)

• 探針卡座與壓板之間的間隙：≥ 7.5mm

• 微型腔室

• EMI 屏蔽：在 1kHz 至 1MHz 范圍內(nèi) ≥ 30dB

• 系統(tǒng)交流噪聲：≤ 5mVp -p

• 微型定位器

• 顯微鏡

• 隔振臺(tái)

光譜輻照度計(jì)

• 光譜范圍：400nm 至 1600nm

• 波長(zhǎng)分辨率：400nm 到 1000nm 增加步長(zhǎng) < 1nm；1000nm 到 1600nm 增加步長(zhǎng) < 3.5nm

• 校準(zhǔn)：NIST 可追溯校準(zhǔn)證書(shū)

更多規(guī)格

　　SG-O 集成了 Enlitech 的高級(jí)光模擬器技術(shù)和 MPI 自動(dòng)探針系統(tǒng)。Enlitech 提供多種光學(xué)選項(xiàng)以滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì) CIS / ALS / 光傳感器晶圓測(cè)試的要求，包括波長(zhǎng)范圍、光強(qiáng)度和均勻光束尺寸。我們擁有數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)，可以幫助客戶(hù)解決 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測(cè)試和設(shè)計(jì)變化的挑戰(zhàn)。請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系以獲取更多詳細(xì)信息。我們的專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)將為您提供幫助！