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　　多晶硅裝置上球閥發(fā)生抱死或發(fā)卡的主要原因?yàn)椋?br />　　
　　1.閥座的板簧變形腔，密封性能不好，以致于硅粉進(jìn)入閥座板簧變形腔，造成板簧被堵死失效后，球閥被閥座抱死從而不能很好的進(jìn)行開關(guān)。
　　
　　2.閥體與球之間的中腔在閥門開關(guān)的時(shí)候進(jìn)入硅粉，使球體抱死造成閥門不能順利開關(guān)。但造成這種原因需要一個(gè)工況條件，就是在硅粉潮濕的情況下才能黏結(jié)在腔體內(nèi)。而硅粉在干燥或流體的情況下是不會(huì)造成這種抱死的情況的。要是硅粉在干燥或流體的情況下造成抱死情況那就是*種情況硅粉進(jìn)入了閥座板簧變形腔了。
　　
　　解決上述兩種產(chǎn)生抱死閥門的方法：
　　
　　1.自貢閥門廠采用的是全“O”形球體，雙閥座，板簧加載結(jié)構(gòu)，閥座密封設(shè)計(jì)成寬面刮刀式結(jié)構(gòu)，在閥門開關(guān)時(shí)能除去黏結(jié)在球面的硅粉，具有自剪的自清潔功能，板簧采用雙石墨密封結(jié)構(gòu)，在閥門密封的同時(shí)，板簧也被密封，介質(zhì)不會(huì)進(jìn)入板簧變形腔，使板簧不被堵死失效，可以長(zhǎng)時(shí)間滿足使用要求。
　　
　　2.在潮濕硅粉堵塞閥門中腔造成抱死不能開關(guān)的這種特殊情況，我們一般建議客戶加強(qiáng)硅粉的干燥效果或改用自貢閥門廠推出的V形半球閥，來*解決這種堵塞問題。
　　
　　自貢球閥在設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了非常細(xì)致的改進(jìn)的同時(shí)，引進(jìn)美國(guó)航天工業(yè)上的噴涂技術(shù)（金剛石噴涂上藝），其表面硬度為：HRC76~78，使用溫度：600℃~650℃，摩擦系數(shù)：0.03~0.05，從而使多晶硅裝置上耐磨球閥的使用壽命超過了進(jìn)口閥門效果。