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規(guī)格摘要

機體材料316L VIM-VAR

連接1規(guī)格1/4 in.

連接1類型內(nèi)螺紋 VCR® 金屬墊片面密封接頭

連接2規(guī)格1/4 in.

連接2類型內(nèi)螺紋 VCR® 金屬墊片面密封接頭

清潔工藝超高純工藝規(guī)范 (SC-01)

適合超高純度應(yīng)用

316L VIM-VAR 不銹鋼閥體

■低壓和高壓兩種閥型

VCR®、卡套管對焊和模塊式表面安裝端接

■手動或氣動執(zhí)行機構(gòu)

無填料, 全金屬殼體

壓力從真空至 3500 psig (241 bar)

溫度從 73 121°C (100 250°F)

工作壓力高達(dá) 300 psig (20.6 bar)

開關(guān)、散裝氣體分配以及隔離服務(wù)

鑄造、鍛造及棒材不銹鋼閥體材料

1/4 1 in.、12 25 mm 端接

316L VAR 不銹鋼閥體

工作壓力可達(dá) 300 psig (20.6 bar)

1/4, 3/8 1/2 in. ;10 12 mm 端接

■氣動和四分之一圈手動 2 通和 3 通型;帶有流量可調(diào)和旁通功能的氣動型和手動型

■改進型 PTFE 潤濕部件和聚丙烯執(zhí)行機構(gòu)

■符合針對超高純系統(tǒng)組件的 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) F57- 0 3 01

■細(xì)牙螺紋擴口和 Nippon Pillar® Super 300 端接標(biāo)準(zhǔn); 可提供 Flowell, 空間節(jié)約型和其它端接

■可提供定制閥組和組件

高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命

Cv 0.27 0.62

耐熱執(zhí)行器、耐溫高達(dá) 200°C392°F

電子執(zhí)行器位置傳感選購件

適合采用 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的超高純應(yīng)用場合

VCR®、卡套管對焊和模塊化表面安裝端接

描述:316L VIM-VAR ALD 閥,1/4 in. 內(nèi)螺紋 VCR, SC-01, NC 耐熱執(zhí)行器

 


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