BESTACE 9系列氣體質(zhì)量流量計(jì)及控制器，是其5系列流量計(jì)的升級(jí)版，采用了316不銹鋼接液材質(zhì)及17-4不銹鋼閥門材質(zhì)，在獲得更高強(qiáng)度、潔凈度、耐用性能的同時(shí)，保持了5系列低價(jià)位、小體積等優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)，產(chǎn)品具有CE認(rèn)證，且可選LCD藍(lán)色背光顯示屏，使得9系列產(chǎn)品在應(yīng)用于設(shè)備配套、過程控制測試設(shè)備等工況的同時(shí)，還可用于大學(xué)、實(shí)驗(yàn)室、流量校準(zhǔn)等場合。
9系列產(chǎn)品也采用了熱式測量原理，因此具有熱式原理的高精度、高靈敏性、寬量程比等特點(diǎn)，且無需平方根修正。同時(shí)采取了毛細(xì)管取樣方式，具有極低的能耗。每臺(tái)設(shè)備出廠前都會(huì)按照客戶的氣體、量程，嚴(yán)格地按照NIST標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行出廠校準(zhǔn)，同時(shí)，比例調(diào)節(jié)閥嵌入在流體通道內(nèi)，從而保證了精巧的體積。
技術(shù)參數(shù)：
量程：流量計(jì)5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM
材質(zhì)：接液部位：316L不銹鋼；外殼：17-4不銹鋼
閥座及閥芯：17-4不銹鋼
密封材質(zhì)：標(biāo)配為氟橡膠（Viton）
可選丁納橡膠Buna，全氟醚橡膠KalRez
泄漏率：不超過1×10 毫升/秒，氦氣
環(huán)境溫度及介質(zhì)溫度：0-60℃
精度：1%FS（包括線性精度）
量程比:100:1
響應(yīng)時(shí)間：500ms
重復(fù)性：優(yōu)于0.15%FS
壓力極限：1000PSIG
zui大壓降：流量計(jì)：250Pa
控制器：7-14KPa（500SCCM以下）
控制器：35KPa（500SCCM-20SLPM）
電源：24VDC@250mA（流量計(jì)）24VDC@350mA（控制器）
輸出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入電源）
設(shè)定點(diǎn)信號(hào)：內(nèi)置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳線）
電氣連接：9針D接口（9 Pin Sub D）
溫度影響系數(shù)：優(yōu)于0.05%FS/℃
壓力影響系數(shù)：優(yōu)于0.01%FS/PSI
標(biāo)準(zhǔn)溫度：21℃
標(biāo)準(zhǔn)壓力：760Torr
重量：流量計(jì)：440g 控制器：460g
