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23系列 ALICAT 23系列帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器

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Alicat的23系列質(zhì)量流量控制器是根據(jù)真空涂層和噴濺過程中所要求快速關(guān)閉功能而設(shè)計的。一個啟動截止閥是常閉的,并且保證一個大氣壓下氦氣Z大泄露為1 x 10-9下有效的關(guān)閉。
23系列質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式技術(shù)。在速度和精度需要計算時,23系列所體現(xiàn)的*的精度和響應(yīng)時間。

 

  Alicat 的23系列可以在響應(yīng)時間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應(yīng)時間可以大大的改良你的zui終產(chǎn)品,并且?guī)椭懦`差。
    每個23系列都是預(yù)先設(shè)定的30種校準氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的
23系列也可以直接通過設(shè)備的按鍵或者RS-232來編程設(shè)定,使用RS-232可以通過一對線串聯(lián)zui多26臺設(shè)備。
    23系列供電電壓為12-30Vdc,單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232(可選PROFIBUS)
特點和優(yōu)點
·響應(yīng)時間50-100ms
·量程 0.5sccm-20slpm
·  模擬和數(shù)字通信(可選PROFIBUS
·30種預(yù)設(shè)定校準氣體
· 精度±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
·  可選高精度±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
·  操作量程1%-*
·數(shù)字顯示質(zhì)量流量、體積流量絕壓和溫
·無預(yù)熱時間
· 小巧設(shè)計,方便替換其他設(shè)備
· 保證標準大氣壓下氦氣zui大泄露1 x 10-9的氣動截止閥
·  終身維修
 

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