氣動超高真空擋板閥簡介
本CF系列超高真空擋板閥系列適用于超高真空系統(tǒng)中開斷管路，其為氣動驅(qū)動方式。CF系列超高真空擋板閥具有工作平穩(wěn)，使用可靠、密封性能佳和壽命長等優(yōu)點，是超高真空設(shè)備*閥門之一。氣動超高真空擋板閥是以壓縮空氣為動力開啟或關(guān)閉閥板，在失去氣源時，閥板將依靠彈簧力自動關(guān)閉。閥門的介質(zhì)為空氣及少數(shù)腐蝕性氣體。

氣動超高真空擋板閥簡介
本CF系列超高真空擋板閥系列適用于超高真空系統(tǒng)中開斷管路，其為氣動驅(qū)動方式。CF系列超高真空擋板閥具有工作平穩(wěn)，使用可靠、密封性能佳和壽命長等優(yōu)點，是超高真空設(shè)備*閥門之一。氣動超高真空擋板閥是以壓縮空氣為動力開啟或關(guān)閉閥板，在失去氣源時，閥板將依靠彈簧力自動關(guān)閉。閥門的介質(zhì)為空氣及少數(shù)腐蝕性氣體。
超高真空氣動擋板閥特點
標準化、模塊化設(shè)計，易于更換超高真空擋板閥及維修；
超高真空擋板閥便于清潔的設(shè)計；
軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設(shè)計；
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小；
CF系列超高真空擋板閥主要性能指標：
適用范圍：1×105pa～1.2×10-8Pa
打開時閥板上的壓差：≤1.2×105Pa任意方向
閥體和閥座漏率： <1.3×10-7Pa·L·s-1
建議*維修前循環(huán)次數(shù)：200，000次
閥體烘烤溫度：打開時≤200℃；關(guān)閉時≤150℃
安裝位置：任意
電源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規(guī)格可定做）
壓縮空氣（只適用于氣動）：0.4～0.7MPa
閥門開閉時間（只適用于氣動）：≤1s
閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）
閥門重量、訂貨號：見上表