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真空鍍膜系統(tǒng)

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<strong>真空鍍膜系統(tǒng)</strong>

真空鍍膜系統(tǒng)的工作原理

啟動系統(tǒng)主真空泵組開始工作,直到真空罐內(nèi)真空度達到設(shè)定的上限值,真空泵自動停止運行,*真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時,備用真空泵組自動啟動。由此循環(huán)往復,真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源,滿足生產(chǎn)的要求。

 

<strong>真空鍍膜系統(tǒng)</strong>

真空系統(tǒng)存在的泵的名詞解釋:

主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

 

前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片泵或滑閥泵就是前級泵。

 

粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。

 

維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。

 

事實上簡單的真空系統(tǒng)只是能獲得一個粗真空,而想要獲得高真空時,通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵,比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當串聯(lián)一個高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴散泵,為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據(jù)要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥,散熱器等等,這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng)。

<strong>真空鍍膜系統(tǒng)</strong>

真空鍍膜系統(tǒng)主泵類型的確定:

  1. 真空泵系統(tǒng)設(shè)計的關(guān)鍵問題是選擇真空抽氣機組的主泵。
  2. 根據(jù)真空室所需要建立的極限壓力確定主泵的類型。一般主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數(shù)量級。
  3. 根據(jù)真空室進行工藝生產(chǎn)時所需要的工作壓力選主泵。應(yīng)正確地選擇主泵的工作點,在其工作壓力范圍內(nèi),應(yīng)能排除真空室內(nèi)工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。因此,真空室內(nèi)的工作壓力一定要在主泵的抽速壓力范圍之內(nèi)。
  4. 根據(jù)真空室的容積大小和要求的抽氣時間來選主泵。真空室體積大小對系統(tǒng)抽到極限真空的時間有影響。當抽氣時間要求一定時,若真空室體積越大,則主泵抽速也越大。
  5. 正確地組合真空泵,由于真空泵有選擇性地抽氣,因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。
  6. 若真空系統(tǒng)嚴格要求無油時,則應(yīng)該選各種無油泵作主泵。如果要求不嚴格,則可選擇有油泵,然后加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
  7. 選擇真空泵時,應(yīng)該知道被抽氣體成分,針對被抽氣體成分選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有腐蝕性氣體、顆?;覊m等,則應(yīng)該考慮選擇干式真空泵、耐腐蝕真空泵等?;蛟诒玫倪M氣口管道上安裝輔助設(shè)備。
  8. 根據(jù)整套真空系統(tǒng)的初次投資和日常維護費用等經(jīng)濟指標選擇主泵。

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