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A-110 PhysikInstrumenteA-110帶空氣軸承線性平臺(tái)

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北京漢達(dá)森德國原廠直供德國PhysikInstrumenteA-110帶空氣軸承線性平臺(tái)、PhysikInstrumenteA-110帶空氣軸承線性平臺(tái)

 

Physik Instrumente公司簡介:

Physik Instrumente(PI)GmbH & Co.KG 多年來,PI的產(chǎn)品一直以高品質(zhì)和創(chuàng)新技術(shù)而著稱。在提供產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),PI更為用戶提供創(chuàng)新的技術(shù)服務(wù)和完整的解決方案。從精密加工到數(shù)字與模擬控制電路,從亞納米級(jí)的電容位置傳感器到*的PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器,PI已掌握全套關(guān)鍵技術(shù),強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力推動(dòng)著微米納米定位技術(shù)不斷地向前沿發(fā)展,也使得PI成為眾多高科技企業(yè)、*實(shí)驗(yàn)室的合作伙伴。

 

產(chǎn)品簡介:

產(chǎn)品概述

PIglide定位系統(tǒng)具有一個(gè)磁性線性電機(jī)、磁性預(yù)載空氣軸承和一個(gè)光學(xué)線性編碼器:非接觸式無摩擦運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)*精度和可靠性

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 掃描應(yīng)用的*選擇或精密定位
  • 無塵室兼容
  • 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的尺寸160毫米×200 毫米
  • 行程達(dá)400 毫米
  • 負(fù)載容量達(dá)100 牛

附件和可選配件

  • 編碼器
  • PIglide Filter und Druckregler
  • 單軸和多軸運(yùn)動(dòng)控制器
  • XY裝置和個(gè)性化配置
  • 花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計(jì)量、光子學(xué)和精密掃描。

由于運(yùn)動(dòng)無摩擦,不會(huì)形成顆粒,PIglide平臺(tái)非常適用于無塵室應(yīng)用。

 

規(guī)格

運(yùn)動(dòng)

A-110.050xx

A-110.100xx

A-110.200xx

A-110.300xx

A-110.400xx

單位

公差

主動(dòng)軸

X

X

X

X

X

 

 

行程

50

100

200

300

400

毫米

 

螺距/偏轉(zhuǎn)角(1)

15

15

20

30

40

微弧度

直線度/
平面度(1)

0.5

0.5

1

1

1.5

微米


每10毫米
行程的直線度/平面度(1)

±10

±10

±10

±10

±10

納米

速度,空載(2)

0.5

0.5

1

1

1

米/秒

加速度,空載(2)

10

10

30

30

30

米/平方秒

機(jī)械特性

A-110.050xx

A-110.100xx

A-110.200xx

A-110.300xx

A-110.400xx

單位

公差

Z向負(fù)載能力(3)

100

100

100

100

100

移動(dòng)質(zhì)量

2.5

2.5

2.6

2.6

2.6

千克

 

總質(zhì)量

6.3

7.5

11

12

14

千克

 

導(dǎo)向類型

空氣軸承

空氣軸承

空氣軸承

空氣軸承

空氣軸承

 

 

驅(qū)動(dòng)特性

A-110.050xx

A-110.100xx

A-110.200xx

A-110.300xx

A-110.400xx

單位

公差

驅(qū)動(dòng)類型

無鐵芯三相線性電機(jī)

無鐵芯三相線性電機(jī)

 

 

中間電路電壓,均方根

48,標(biāo)稱值

60,大值

48,標(biāo)稱值

60,大值

伏直流

 

峰值力

25

85

典型值

標(biāo)稱力

9.2

39

典型值

力常數(shù),均方根

4.2

12.3

牛/安

典型值

相間電阻

8.2

3.6

歐姆

典型值

相間電感

2.7

1.24

毫亨

典型值

相間反電動(dòng)勢(shì)

4.2

10.1

伏·秒/米

布線

內(nèi)部,無移動(dòng)電纜

外部,移動(dòng)電纜

 

 

定位

A-110.xxxA

A-110.xxxB

集成傳感器

增量線性編碼器

編碼器

傳感器信號(hào)

正弦/余弦,1伏峰峰值,20微米信號(hào)周期

BiSS-C

傳感器分辨率

1.2納米(4)

1納米

雙向重復(fù)性

±0.1微米(4)

±0.1微米

定位精度,未校準(zhǔn)(5)

A-110.050:± 1.5微米

A-110.100:± 1.5微米

A-110.200:± 2微米

A-110.300:± 3微米

A-110.400:± 4微米

A-110.050:± 1.5微米

A-110.100:± 1.5微米

A-110.200:± 1.5微米

A-110.300:± 1.5微米

A-110.400:± 1.5微米

定位精度,已校準(zhǔn)(5)

A-110.050:± 0.5微米

A-110.100:± 0.5微米

A-110.200:± 0.5微米

A-110.300:± 0.5微米

A-110.400:± 0.5微米

A-110.050:± 0.5微米

A-110.100:± 0.5微米

A-110.200:± 0.5微米

A-110.300:± 0.5微米

A-110.400:± 0.5微米

其他

A-110

工作壓力(6)

60至70磅 /平方英寸(415至485千帕)

耗氣量

< 1.0 SCFM (28 SLPM)

空氣質(zhì)量

清潔(過濾達(dá)1.0微米或更佳)ISO 8573–1 級(jí)別1

無油 - ISO 8573–1 級(jí)別1

干燥(-15°C露點(diǎn)) - ISO 8573–1 級(jí)別3

材料

硬膜鋁,不銹鋼固定硬件

(1)取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。

(2)可能受有效載荷、控制器或驅(qū)動(dòng)器的限制。

(3)假定有效載荷重心位于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上方50毫米范圍以內(nèi)的*。平臺(tái)僅設(shè)計(jì)用于水平操作。

(4)假定16384x插值。有關(guān)其他因子的使用

(5)通過基于控制器的誤差補(bǔ)償,可獲得改善的精度。為實(shí)現(xiàn)這些數(shù)值,平臺(tái)必須與PI控制器一同訂購。精度值取短時(shí)間段,不考慮平臺(tái)上熱漂移的*影響。

(6)為防止平臺(tái)損壞,建議將空氣壓力傳感器連接到控制器運(yùn)動(dòng)停止輸入端。

 訂購信息

A-110.050A1 PIglideLC線性平臺(tái),空氣軸承,50毫米行程,增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器,20微米傳感器信號(hào)周期,無 鐵芯三相線性電機(jī),48伏

A-110.050B1 PIglideLC線性平臺(tái),空氣軸承,50毫米行程,帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機(jī),48伏

A-110.100A1 PIglideLC線性平臺(tái),空氣軸承,100毫米行程,增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器,20微米傳感器信號(hào)周期,無 鐵芯三相線性電機(jī),48伏

A-110.100B1 PIglideLC線性平臺(tái),空氣軸承,100毫米行程,帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機(jī),48伏

A-110.200A1 PIglideLC線性平臺(tái),空氣軸承,200毫米行程,增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器,20微米傳感器信號(hào)周期,無 鐵芯三相線性電機(jī),48伏

A-110.200B1 PIglideLC線性平臺(tái),空氣軸承,200毫米行程,帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機(jī),48伏

A-110.300A1 PIglideLC線性平臺(tái),空氣軸承,300毫米行程,增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器,20微米傳感器信號(hào)周期,無 鐵芯三相線性電機(jī),48伏

A-110.300B1 PIglideLC線性平臺(tái),空氣軸承,300毫米行程,帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機(jī),48伏

A-110.400A1 PIglideLC線性平臺(tái),空氣軸承,400毫米行程,增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器,20微米傳感器信號(hào)周期,無 鐵芯三相線性電機(jī),48伏

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