中國臺灣FURNAN福南油泵齒輪泵油箱內(nèi)油液被污染VHO-F-20-A1,VHO-F-20-A2中國臺灣福南FURNAN葉片泵*壓阻式壓力傳感器是采用半導(dǎo)體材料沿其晶向切取細薄片作為應(yīng)變片——壓力敏感元件所鉚制成的壓力傳感器。半導(dǎo)體材料在某一方向承受壓力時,電阻率將發(fā)生顯著變化,可將P型或N型半導(dǎo)體晶體細薄片作為電阻應(yīng)變片用膠水牢固地粘貼在能感受壓力變化的彈性元件上。’當彈性元件隨壓力變化而產(chǎn)生應(yīng)起時,半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片也受壓產(chǎn)生壁應(yīng)變,使其電阻發(fā)生變化,電阻值的變化量與彈性元件的應(yīng)變量成正比。測量此電阻值的變化量便可測出彈性元件的應(yīng)變量,從而測出壓力的大小。
圖5-68為壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu),被測壓力先作用在鋼膜片上,通過硅油將壓力傳給硅膜片,使壓敏電阻變化并通過電橋?qū)⑻栞敵觯瑥亩鴾y出液體壓力的大小。鋼膜片隔開被測液體和硅膜片,可保護硅片,使其性能穩(wěn)定。鋼膜片和硅油的不可壓縮性保證了被測壓力可等效傳到硅膜片上,它們也不影響傳感器的靈敏度、線性和遲滯等性能,只影響零點效應(yīng)和頻率特性。
齒輪泵壓阻式壓力傳感器測壓范圍寬,精度高,固有頻率高,動特性好,重量輕,耐沖矗擊振動,因廣泛用于生產(chǎn)、科研中。
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VHO-F-08-A1 VHO-F-08-A2 VHO-F-12-A1 VHO-F-12-A2
VHO-F-15-A1 VHO-F-15-A2 VHO-F-20-A1 VHO-F-20-A2
VHO-F-25-A1 VHO-F-25-A2 VHO-F-08-A1-T9 VHO-F-08-A2-T9
VHO-F-12-A1-T9 VHO-F-12-A2-T9 VHO-F-12-A2-T9 VHO-F-15-A2-T9
VHO-F-20-A1-T9 VHO-F-20-A2-T9 VHO-F-25-A1-T9 VHO-F-25-A2-T9
由電阻應(yīng)變片和壓力敏感元件所組成。壓力敏感元件有膜片式、濺射薄膜式、應(yīng)變筒式、變簡支芝梁式和組合式筆等。
電阻孟≥甘常用的有:電阻絲應(yīng)變片[圖5-63 (a)],它由一根直徑為O.。12~0. 05mm的齒輪泵高電阻系數(shù)的金屬絲1(如康銅絲、鎳鉻合金絲等)繞成柵狀,用膠水牢固地粘貼在絕緣片2.上,電阻絲兩端各焊接一根較粗的紫銅絲3作為引出線,上面再貼一層覆蓋物。箔式應(yīng)變片[圖5-63 (b)],它是由厚度為O.005~0.Olmm的高彈性合金(如銅基、鐵基、鎳基)材料制成的合金箔加熱附著在厚度為0.05mm的塑料片基上,用腐蝕加工的方法制成柵形而成。理想的材料為鈮基合金,這種高溫恒彈性材料無磁,耐蝕,彈性模量值低(彈性很高),滯后小,靈敏度高,使用溫度達到一55~150℃,這些特性將大大提高傳感器的性能和精度。半嗡變片[圖5-63 (c)],它是將P型或N型半導(dǎo)體晶體沿一定晶向切取細薄片代替金褲步w。箔制成的應(yīng)變片,它的體積小、靈敏度高,但受溫度影響句大。中國臺灣FURNAN福南油泵齒輪泵油箱內(nèi)油液被污染VHO-F-20-A1,VHO-F-20-A2中國臺灣福南FURNAN葉片泵*
應(yīng)變片式壓力傳感器的工作原理如圖5-64所示。壓力敏感元件承受壓力后產(chǎn)生應(yīng)籮箋’阻應(yīng)變片則將應(yīng)變量變換為電阻的變化量AR, AR再通過惠斯通電橋?qū)⑵渥兂呻娏浚妷海┒敵觥?/p>