三厘SANKING牌PPH氣動隔膜閥是由三登公司自主研發(fā)的氣動執(zhí)行器，氣動執(zhí)行器由全塑材料研發(fā)制造而成，本體為PPH三厘SANKING牌氣動隔膜閥；產(chǎn)品性能穩(wěn)定，使用壽命長。

產(chǎn)品名稱:三厘SANKING牌PPH氣動隔膜閥    品牌：三厘/SANKING    氣動執(zhí)行器材質(zhì)：全塑

氣動執(zhí)行類型：單作用常閉，隔膜閥配置：EPDM隔膜片，

產(chǎn)品尺寸：1/2”~2",DN15~DN50,20mm~63mm;

標(biāo)準(zhǔn)：國標(biāo)（DIN）；

產(chǎn)品顏色：本體（淺黃色）；(LD:  138  ,6012 ,   2398)

產(chǎn)品尺寸圖：

三厘SANKING牌PPH氣動隔膜閥

一、 氣動隔膜閥是一種利用空氣動力來驅(qū)動的開關(guān)，具有快速、安全、可靠、易于維護(hù)等優(yōu)點，在半導(dǎo)體行業(yè)中被廣泛應(yīng)用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中。這里介紹氣動隔膜閥的工作原理、特點及在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用。

二、氣動隔膜閥的特點

1. 結(jié)構(gòu)簡單：氣動隔膜閥的結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，易于安裝和維護(hù)。

2. 密封性好：膜片與閥板之間的密封采用軟密封結(jié)構(gòu)，密封性能好，能夠有效地防止氣體和液體泄漏。

3. 動作靈敏：氣動隔膜閥的驅(qū)動機(jī)構(gòu)采用氣動方式，動作靈敏，可以實現(xiàn)快速開關(guān)。

4. 適用范圍廣：氣動隔膜閥適用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中，具有廣泛的應(yīng)用范圍。

5. 安全性高：氣動隔膜閥采用膜片作為密封件，能夠有效地避免物料卡死或粘結(jié)現(xiàn)象，提高了設(shè)備的安全性。

6. 維護(hù)方便：氣動隔膜閥的維護(hù)非常方便，只需要定期清洗和更換膜片即可。

三、氣動隔膜閥在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用，在半導(dǎo)體行業(yè)中，氣動隔膜閥被廣泛應(yīng)用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中，以下是幾個典型的應(yīng)用場景：

1. 工藝氣體管路：在半導(dǎo)體制造過程中，需要使用各種工藝氣體，如氮氣、氧氣、氫氣等。氣動隔膜閥能夠快速、準(zhǔn)確地控制這些氣體的流量和壓力，為生產(chǎn)提供穩(wěn)定的工藝環(huán)境。

2. 液體管路：在半導(dǎo)體制造中，各種化學(xué)試劑和超純水需要通過管道進(jìn)行輸送。氣動隔膜閥可以控制液體的流量和壓力，確保輸送過程的穩(wěn)定性和安全性。

3. 真空管路：半導(dǎo)體制造過程中需要進(jìn)行真空處理，如薄膜沉積、干法刻蝕等。氣動隔膜閥可以在真空系統(tǒng)中起到開關(guān)和調(diào)節(jié)作用，保證設(shè)備的正常運行。

4. 尾氣處理系統(tǒng)：在半導(dǎo)體制造過程中會產(chǎn)生各種廢氣，如酸氣、有機(jī)廢氣等。氣動隔膜閥可以控制尾氣處理系統(tǒng)的閥門開關(guān)，實現(xiàn)廢氣的收集和處理。

5. 晶圓傳送系統(tǒng)：半導(dǎo)體制造中的晶圓需要經(jīng)過多個工藝步驟之間的傳遞。氣動隔膜閥可以控制晶圓傳送系統(tǒng)的氣體管道，確保晶圓在傳送過程中的穩(wěn)定性和清潔度。

四、總結(jié)，氣動隔膜閥作為一種快速、安全、可靠、易于維護(hù)的開關(guān)設(shè)備，在半導(dǎo)體行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。它具有結(jié)構(gòu)簡單、密封性好、動作靈敏、適用范圍廣、安全性高和維護(hù)方便等特點，為半導(dǎo)體制造過程中的工藝控制和設(shè)備安全提供了有力保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，氣動隔膜閥在未來有重要作用。