1.是結(jié)合了光切斷的狹縫圖像觀察和點(diǎn)光圖像的AF(自動(dòng)對焦)追蹤的新型深度高度測量機(jī)。2.通過連續(xù)追蹤AF驅(qū)動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)高精度重復(fù)測量，操作性好，速度快。3。由于是一邊觀察狹縫圖像映射出的臺階形狀一邊進(jìn)行測量的方式，因此可以實(shí)時(shí)識別測量畫面上的高低，可以容易地判斷需要測量的部位。4.測定點(diǎn)處的狹縫圖像·點(diǎn)光像·電子線基準(zhǔn)線的中心全部一致的測量系統(tǒng)，通過檢查偏差，可以防止用錯(cuò)誤的數(shù)值進(jìn)行測量。5.光切斷的仰角除了標(biāo)準(zhǔn)的90°外，還可以根據(jù)用途選擇導(dǎo)入30°60°120°。

主要規(guī)格

観察方法

光切斷方式(利用狹縫光學(xué)系統(tǒng)測定深度高度)

■物鏡

固定倍率10倍(5倍、20倍)

軸駆動(dòng)方式

基于點(diǎn)光的AF連續(xù)追蹤方式(離線時(shí)可手動(dòng)測量)

投射縫隙

10um半反光鏡型

Z軸測量

Z軸數(shù)字線性儀表0.1閱讀

重復(fù)精度

~1微米以內(nèi)

使用光源

半導(dǎo)體激光器(類2)、鹵素光源

自動(dòng)捕捉表示截面形狀的細(xì)狹縫光、紅色激光斑點(diǎn)、階梯差的變化，Z

軸功能迅速跟隨，進(jìn)行測定數(shù)值的數(shù)字顯示(自動(dòng)聚焦)·系統(tǒng))功能

與電子線方式的基準(zhǔn)線相結(jié)合，擴(kuò)大了測量范圍，提高了利用價(jià)值，是

新型的深度高度測量機(jī)。