電子超純水設(shè)備

電子超純水一般工藝流程：　
（水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ＊cm，15MΩ＊cm，2MΩ＊cm和0.5MΩ＊cm四級）　

預(yù)處理－反滲透－水箱－陽床－陰床－混合床－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－精密過濾器－用水對象　

預(yù)處理－一級反滲透－加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象　

預(yù)處理－二級反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象　

預(yù)處理－二級反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象　

應(yīng)用場合　
·　半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路；　
·　超純材料和超純化學(xué)試劑；　
·　實(shí)驗(yàn)室和中試車間　
·　汽車、家電表面拋光處理；　
·　其他高科技精微產(chǎn)品。