LG系列螺桿式真空泵（又名雙螺桿真空泵，無油干式螺桿真空泵等）是一款干式真空泵。因螺桿真空泵無需油潤滑或水密封，泵腔內(nèi)*無油，因此螺桿真空泵在半導(dǎo)體、電子工業(yè)中要求無油潔凈真空的場合以及化工制藥中對溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優(yōu)勢，可廣泛替代旋片式真空泵、滑閥式真空泵、水環(huán)式真空泵、水噴射真空泵、往復(fù)式真空泵、羅茨水環(huán)真空機(jī)組等。

二、LG干式無油螺桿真空泵的產(chǎn)品性能及規(guī)格：

三、LG干式無油螺桿真空泵工作原理：

如圖所示，螺桿真空泵內(nèi)裝有一對平行的旋轉(zhuǎn)狀的轉(zhuǎn)子（1和2），其中一件轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向?yàn)橛倚?，另一件為左旋。兩個(gè)轉(zhuǎn)子在泵體（9）內(nèi)通過一對齒輪（3）保持同步反向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵體之間沒有摩擦且保持一定的間隙，兩個(gè)轉(zhuǎn)子與泵體之間形成了密封腔（4），密封腔的個(gè)數(shù)等于轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)。
兩個(gè)轉(zhuǎn)子在按圖中方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口（5）相連的密封腔的空間逐漸變大，氣體被吸入并被傳送到排氣側(cè)，排氣側(cè)的密封腔（6）空間在旋轉(zhuǎn)過程中逐漸變小，氣體被壓縮到排氣口（7）。
長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)需向泵體及端蓋的夾套（8）內(nèi)通入適量的冷卻水以對泵進(jìn)行冷卻。
因壓縮熱主要在排氣側(cè)（6）產(chǎn)生，為了充分冷卻轉(zhuǎn)子，在多數(shù)工況下可以將適量的空氣或其它合適的氣體通過摻氣口（10）導(dǎo)入泵腔內(nèi)。

四、LG干式無油螺桿真空泵主要特點(diǎn)：

◆ 結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。
◆ 結(jié)構(gòu)簡單，維修方便。泵的維修及保養(yǎng)無需工具。
◆ 單泵即可達(dá)到30Pa～5Pa的極限壓力，工作范圍較寬。
◆ 根據(jù)系統(tǒng)工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式真空泵機(jī)組，大大提高低壓區(qū)的抽氣速率并減小功耗。
◆ 泵腔內(nèi)無油，對被抽系統(tǒng)無污染，可獲得潔凈真空。
◆ 泵腔內(nèi)無油，非常容易實(shí)現(xiàn)對溶劑的回收。
◆ 泵腔及螺桿表面有鍍鎳層或PTFE涂層可供選擇，可抽除大量水蒸汽及多種腐蝕性介質(zhì)。
◆ 因工作過程中無廢油、廢水的排放，對環(huán)境無污染。
◆ 對冷卻水的要求較低，對于泵的冷卻，普通的循環(huán)水即可滿足要求，且冷卻水量較小。
◆ 清洗方便。如泵腔內(nèi)進(jìn)入污物需清洗時(shí)，只需打開泵的吸排氣口，開啟泵后從泵的吸氣口加入適量的水或清洗劑即可將泵清洗干凈，無需拆卸整臺泵。