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產(chǎn)品展示
STP603愛德華EDWARDS STP603真空泵
- 公司名稱：
- 更新時(shí)間：
- 所 在 地：
- 生產(chǎn)地址：
- 瀏覽次數(shù)：
- 上海萬庫真空設(shè)備有限公司
- 2016-07-01 02:44:39
- 上海市
- 693
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
概述
Edwards STP603 是新型的渦輪分子泵，可用于的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)*的性能，zui大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。
應(yīng)用
· 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
· 電子回旋共振 （ECR） 刻蝕
· 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
· 濺射
· 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
· MBE
· 擴(kuò)散
· 光致抗蝕劑脫模
· 晶體/晶膜生長
· 晶片檢查
· 負(fù)載鎖真空腔
· 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
· 高能物理：射束線、加速器
· 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
*的轉(zhuǎn)子技術(shù)
· zui大的制程靈活性
· 無油
· 低振動(dòng)
· 高度可靠
· 免維護(hù)
*的控制器設(shè)計(jì)
· 自動(dòng)調(diào)整
· 自行診斷功能
· 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
· 無電池運(yùn)行
緊湊型設(shè)計(jì)
· 占地面積小
· 半機(jī)架控制器
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 入口法蘭 | ISO160F |
| 出口 | KF40 |
| 抽速 | |
| N2 | 650 ls-1 |
| H2 | 550 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >105 |
| 加熱時(shí)的極限壓力（VG/ISO 法蘭） | 6.5 x 10-6 Pa （5 x 10-8 Torr） |
| 加熱時(shí)的極限壓力（ICF 法蘭） | 10-7 Pa （10-9 Torr） |
| zui大連續(xù)出口壓力 | 13 Pa （0.1 Torr） |
| 額定速度 | 35000 rpm |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 6 分鐘 |
| zui高入口法蘭溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 100 至 120 （± 10） V 交流或 |
| 200 至 240 （± 10） V 交流 | |
| 啟動(dòng)時(shí)的功耗 | 0.8 kVA |
| 泵重量 | 31 kg |
| 控制器重量 | 9 kg |
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