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Adixen 磁懸浮渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號Adixen 磁懸浮渦輪分子泵

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更新時間：2015-07-05 00:55:17瀏覽次數(shù)：590次

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產(chǎn)品簡介

阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵
五大防腐特性
自動平衡系統(tǒng)
嵌入式75加熱系統(tǒng)
5軸控制
惰性氣體吹掃
逆向動力密封(適用于ATH400與ATH1300型)
高流量應用
緊湊而現(xiàn)代的設計

詳細介紹

磁懸浮渦輪分子泵

ATH-M 系列

阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵

五大防腐特性

自動平衡系統(tǒng)
嵌入式75加熱系統(tǒng)
5軸控制
惰性氣體吹掃
逆向動力密封（適用于ATH400與ATH1300型）

高流量應用

ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是專為高壓、高流量的半導體工業(yè)以及其他薄鍍膜工藝而設計。

緊湊而現(xiàn)代的設計

可調節(jié)轉速以優(yōu)化抽氣時的參數(shù)
高平均*時間
使用成本低
低噪音低振動
無需電池

應用

玻璃鍍膜
微處理系統(tǒng)加工
離子束矯正
電子顯微鏡
空間模擬腔
粒子加速器
半導體工藝（刻蝕, CVD, 離子插入）
鍍膜與薄鍍膜工藝
離子銑
以及許多研發(fā)實驗

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