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是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執(zhí)行氣缸驅動閥板作上下運動，達到閥門的開啟或關閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質為純凈空氣和非腐蝕性氣體，帶反饋信號裝置。

CCQ型－氣動超高真空插板閥 主要技術性能

適用范圍：	10⁵～1.3×10^-7Pa
閥門漏率：	≤1.3×10^-7Pa.L/S.DN≤200 　≤6.7×10^-7Pa.L/S.DN≥250
適用溫度：	-30～+150℃
閥門開啟時閥板兩側的壓差：	≤2.7×10³Pa.
氣源壓力：	0.4～0.6MPa

CCQ型－氣動超高真空插板閥主要零件材料

閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管軸封、丁腈橡膠。

CCQ型氣動超高真空插板閥外形及連接尺寸mm

Model 型號	DN	A	H	D	Do	D1	D2	D3	L	L1	G	E	n-d	法蘭標準
CCQ-50	50	60	92	89	72.4	61.6	55.6		515	153	220	65	8-M8	GB6071
CCQ-63	63	65	105	114	92.1	82.6	76.6		566	180	220	80	8-M8
CCQ-80	80	65	130	130	110	99	93		603	200	220	80	16-M8
CCQ-100	100	70	152	152	130.2	120.7	114.7		653	267	220	95	16-M8
CCQ-150	150	70	202	202	181	171.5	165.5		771	350	270	95	20-M8
CCQ-200	200	80	251	253	231.8	222.3	216.6		889	424	270	115	24-M8
CCQ-250	250	85	300	314	288	308	275	271	1127	574	350	140	24-M10	JB5278
CCQ-300	300	85	352	365	338	353	323	318	1197	613	420	140	32-M10
CCQ-320	320	85	372	385	357	379	344	340	1197	613	440	140	36-M10	JB5278
CCQ-400	400	110	456	497	454	480	440	436	1666	810	536	180	36-M12
CCQ-500	500	135	595	590	555	580	540	536	1835	870	640	220	40-M12
CCQ-630	630	135	690	700	658	680	639	635	1930	960	780	280	40-M16
CCQ-800	800	150	880	890	855	880	835	831	2200	1100	950	350	60-M16

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