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白光干涉儀光學(xué)輪廓儀

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參考價: ￥ 960000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SuperViewW1

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地深圳市

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聯(lián)系方式：羅健查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-05-10 15:13:39瀏覽次數(shù)：291次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  顯微測量儀

掃描電鏡

臺階儀

共聚焦顯微鏡

白光干涉儀

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深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：192條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：羅健（網(wǎng)絡(luò)推廣）

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產(chǎn)品簡介

SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

詳細(xì)介紹

SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

技術(shù)指標(biāo)

型號		W1
光源		白光LED
影像系統(tǒng)		1024×1024
干涉物鏡		標(biāo)配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光學(xué)ZOOM		標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1×
標(biāo)準(zhǔn)視場		0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學(xué)ZOOM 0.5×）
XY位移平臺	尺寸	320×200㎜
	移動范圍	140×100㎜
	負(fù)載	10kg
	控制方式	電動
Z軸聚焦	行程	100㎜
	控制方式	電動
形貌重復(fù)性		0.1nm
粗糙度RMS重復(fù)性		0.005nm
臺階測量		準(zhǔn)確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ)
可測樣品反射率		0.05%~100
主機(jī)尺寸		700×606×920㎜