SuperViewW1國(guó)產(chǎn)白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量??蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
性能參數(shù)
型號(hào) | W1 |
光源 | 白光LED |
影像系統(tǒng) | 1024×1024 |
干涉物鏡 | 標(biāo)配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× |
光學(xué)ZOOM
| 標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× |
標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng) | 0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×) |
XY位移平臺(tái)
| 尺寸
| 320×200㎜ |
移動(dòng)范圍 | 140×100㎜ |
負(fù)載 | 10kg |
控制方式 | 電動(dòng) |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動(dòng) |
形貌重復(fù)性 | 0.1nm |
粗糙度RMS重復(fù)性 | 0.005nm
|
臺(tái)階測(cè)量 | 準(zhǔn)確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ) |
可測(cè)樣品反射率 | 0.05%~100 |
主機(jī)尺寸 | 700×606×920㎜ |
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;
2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;
3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
薄膜粗糙度測(cè)量
超光滑透鏡測(cè)量
應(yīng)用領(lǐng)域
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
SuperViewW1國(guó)產(chǎn)白光干涉儀對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量,通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。它具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。