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深圳市中圖儀器股份有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)SuperViewW1
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地深圳市
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更新時(shí)間：2023-08-08 16:24:43瀏覽次數(shù)：287次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 泵閥商務(wù)網(wǎng)SuperViewW1三維白光形貌干涉儀測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌，可以快速獲取被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè)，可用于成品質(zhì)量的管理，確保良品合格率。測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)便，只需要操作者裝好被測(cè)工件，在軟件里設(shè)好視場(chǎng)參數(shù)，把物鏡調(diào)節(jié)到被測(cè)工件表面，選擇自動(dòng)聚焦后，儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開始掃描測(cè)量。
CHOTEST中圖儀器SuperViewW1三維白光形貌干涉儀集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；
2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；
3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
SuperViewW1三維白光形貌干涉儀測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌，可以快速獲取被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè)，可用于成品質(zhì)量的管理，確保良品合格率。測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)便，只需要操作者裝好被測(cè)工件，在軟件里設(shè)好視場(chǎng)參數(shù)，把物鏡調(diào)節(jié)到被測(cè)工件表面，選擇自動(dòng)聚焦后，儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開始掃描測(cè)量。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，完成工件表面形貌一鍵測(cè)量。
| 型號(hào) | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標(biāo)配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100× | |
| 光學(xué)ZOOM | 標(biāo)配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1× | |
| 物鏡塔臺(tái) | 標(biāo)配：3孔手動(dòng) 選配：5孔電動(dòng) | |
XY位移平臺(tái) | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動(dòng)范圍 | 140×100㎜ | |
| 負(fù)載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
| 主機(jī)尺寸（長(zhǎng)×寬×高） | 700×606×920㎜ | |
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
結(jié)果組成：
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測(cè)量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。
具體應(yīng)用：
在3C領(lǐng)域，可以測(cè)量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業(yè)，可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業(yè)，可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業(yè)，可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業(yè)，可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度；
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