控制室 W 23.6 in,H 66.9 in,D 31.4 in Chamber: W 14.1 in,H 5.9 in,D 10.2 in 房間卷 Approx.30 liters 天然氣供應(yīng) 2 Gas channels via MFCS 發(fā)生器 | 清潔劑Tetra-30-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù) 控制柜: 寬31.5英寸,高23.6英寸,深19.7英寸 腔室: 寬9.4英寸,高5.9英寸, 深9.4英寸 腔室容積: 約30升 供氣: 通過MFC的1個氣體通道 | 清潔劑Tetra-100-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù) 控制柜: 寬78.7英寸,高86.6英寸, 深78.7英寸 腔室: 寬27.5英寸,高7.9英寸, 深27.5英寸 腔室容積: 約100升 供氣: 通過MFC的3個氣體通道 | 清潔劑Tetra-120-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù): 控制柜: 寬23.6英寸,高84.6英寸,深39.4英寸 腔室: 寬47.2英寸,高5.9英寸,深66.9英寸 腔室容積: 約120升 供氣: 通過MFC的4個氣體通道 |
清潔劑Tetra-130-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬70.8英寸,高82.7英寸, 深51.2英寸 腔室:寬15.7英寸, 高15.7英寸,深31.9英寸 腔室容積:約130升 供氣:通過MFCs、 單體分散器的3個氣體通道 | 清潔劑Tetra-140-LF 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬23.6英寸,高82.7英寸, 深25.6英寸 腔室:寬47.2英寸,高27.5英寸, 深59英寸 腔室容積:約140升 供氣:通過MFC的3個氣體通道 | 清潔劑Tetra-140-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬39.4英寸,高70.8英寸, 深39.4英寸 腔室:寬39.4英寸,高3.9英寸, 深39.4英寸 腔室容積:約140升 供氣:通過MFCs的2個氣 體通道,用于等離子體聚 合的液體單體分散器 | 清潔劑Tetra-150-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬39.4英寸,高82.7英寸, 深39.4英寸 腔室: 寬15.7英寸,高23.6英寸, 深24.6英寸 腔室容積:約150升 供氣:通過MFC的2個氣體通道 |
控制室 W 23.6 in,H 66.9 in,D 126 in Chamber: W 12 in,H 11.8 in,D 102.4 in 房間卷 Approx.240 liters 天然氣供應(yīng) 3 Gas channels via MFCS | 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬98.4英寸,高86.6英寸, 深39.4英寸、腔室: 寬25.6英寸,高19.7英寸, 深31.5英寸、腔室容積: 約260升、供氣: 通過MFC的2個氣體通道 | 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬23.6英寸,高82.7英寸, 深31.5英寸腔室:寬23.6英寸, 高14.2英寸,深74.8英寸 腔室容積:約375升供氣: 通過MFC的2個氣體通道 | 清潔劑Tetra-400-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬23.6英寸,高82.7英寸, 深25.6英寸腔室:寬29.5英寸, 高31.5英寸,深29.5英寸腔室容積: 約400升供氣:通過MFC的3 個氣體通道 |
技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬63英寸,高82.7英寸, 深47.2英寸腔室:寬29.5英寸, 高31.5英寸,深29.5英寸 腔室容積:約420升 供氣:通過MFC的4個氣體通道 | 清潔劑Tetra-500-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬23.6英寸,高82.6英寸, 深31.5英寸 腔室:寬59英寸,高66.9英寸, 深7.9英寸、腔室容積:約500升 供氣:通過MFC的3個氣體通道 | 清潔劑Tetra-575-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬45.3英寸,高74.8英寸, 深63英寸腔室:寬23.6英寸, 高47.2英寸,深31.5英寸、 腔室容積:約575升 供氣:通過MFC的2個氣體通道 | 清潔劑Tetra-600-LF-PC-D 版本1技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜:W 23.6和 H 86.6和D 31.5以及、腔室: E 43.3英寸,D 27.6英寸、 腔室容積:約600升、供氣: 通過MFC的2個氣體通道 |
清潔劑Tetra-600-LF-PC-D 版本2、技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: W 39.4和H 86.6和D 70.9以及 腔室:E 39.4英寸,D 29.4英寸 腔室容積:約600升 供氣:通過MFC的2個氣體通道 | 清潔劑Tetra-2000-RF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù):腔室: 寬39.4英寸,高78.7英寸,深39.4英寸、腔室容積:約2000升 供氣:通過MFC的2個氣體通道 | 清潔劑Tetra-2800-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬23.6英寸,高66.9英寸,深31.5英寸 腔室: Ø47.2英寸,直徑98.4英寸 腔室容積:約2800升 供氣:通過MFC的3個氣體通道 | 清潔劑Tetra-4400-LF-PC 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬70.8英寸,高39.4英寸, 深31.5英寸、腔室: 寬53.1英寸,高102.4英寸,深49.2英寸、腔室容積:約4400升 供氣:通過MFC的3個氣體通道 |
帶附加變壓器箱的定制電纜長度 備件組、發(fā)電機(jī)功率大壓縮空氣過濾器、19“機(jī)架安裝式機(jī)柜(僅等離子標(biāo)簽)噴射溫度測量(僅等離子顯微術(shù)PC)測試墨水等離子體聚合設(shè)備 | Zepto等離子體系統(tǒng) 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬16.7英寸,高7.3英寸,深17.7英寸 腔室:Ø4.1英寸,L 11.8英寸 腔室容積:約2.6升 供氣:通過針閥的2個氣體通道 | Atto等離子體系統(tǒng) 技術(shù)數(shù)據(jù):控制柜: 寬16.7英寸,高10.8英寸, 深17.7英寸 腔室:Ø8.3英寸,長11.8英寸 腔室容積:約10.5升 供氣:通過針閥的2個氣體通道 | 基本配置 根據(jù)部件/選項(xiàng)的不同,外車身也會有所不同電源:230 V AC/6 A/50-60 Hz |