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半導體生產用超純水設備采用*可靠產品,采用PLC+觸摸屏控制,全套系統(tǒng)自動化程度高,系統(tǒng)穩(wěn)定性高。大大節(jié)省人力成本和維護成本,水利用率高,運行可靠,經濟合理。使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性?! ?/p>
超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法,將水中的導電介質幾乎*去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
半導體生產用超純水設備工藝
預處理→UF系統(tǒng)→一級反滲透→PH調節(jié)→級間水箱→二級反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→EDI裝置→氮封水箱→增壓水泵→拋光混床→循環(huán)增壓泵→用水對象(≥18MΩ.CM)
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