漢鐘各種型號：PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/
PD120/PD300/PD400/PD650/PD800
主要特點：

排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積
干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵浦內(nèi)的傳輸路徑短，不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。
線形密封性佳，泵浦性能優(yōu)
轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的咽合間隙達(dá)到的抽氣效果，由于咽合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。
結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，維修容易
螺旋式真空泵因只需利用一對轉(zhuǎn)子互相咽合達(dá)到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時程降低維修費用。
微電腦操作，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全
微電腦操控器提供真空泵浦簡易的操作方式并能顯示泵浦完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對泵浦應(yīng)用狀況進(jìn)行調(diào)整，在泵浦產(chǎn)生問題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng),遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場即能查詢泵浦之運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。