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產(chǎn)品展示
愛德華EXT75D愛德華EXT75D真空泵
- 公司名稱：
- 更新時(shí)間：
- 所 在 地：
- 生產(chǎn)地址：
- 瀏覽次數(shù)：
- 上海萬庫(kù)真空設(shè)備有限公司
- 2015-10-07 19:35:35
- 上海市
- 849
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說明】
功能和優(yōu)勢(shì)
· 通過板上智能控制可以降低運(yùn)行功耗，減少運(yùn)行成本。此外，這種控制器還增加了電子制動(dòng)、智能冷卻風(fēng)扇和自動(dòng)排氣選件。
· 與 Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個(gè)或多個(gè)真空計(jì)而不需要額外的顯示控制器。
· 并行或串行接口。
o 并行模式允許使用傳統(tǒng)控制信號(hào)界面。
o 串行模式提供 RS232，可以全面控制泵狀態(tài)，并連續(xù)監(jiān)控：
§ 排氣閥控制設(shè)置
§ 運(yùn)行速度指示
§ 待機(jī)運(yùn)行速度
§ 可編程功率設(shè)置
§ 功耗
§ 泵/控制器溫度
· 標(biāo)配的入口篩網(wǎng)。
· 用于清潔泵、減少振動(dòng)和zui大程度降低磨損的永磁上軸承。
· 手動(dòng)排氣閥（電磁閥操作的型號(hào)可以用于全自動(dòng)排氣）。
· Holweck 分級(jí)實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級(jí)壓力容差。
· 氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護(hù)電機(jī)和下軸承。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 入口法蘭 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K |
| 抽速 ISO63/63CF （DN40NW）（ISO100） | |
| N2 | 61 ls-1 （42 ls-1） （66 ls-1） |
| He | 57 ls-1 （49 ls-1） （59 ls-1） |
| H2 | 53 ls-1 （48 ls-1） （54 ls-1） |
| 壓縮比 | |
| N2 | >1 × 1011 |
| He | 1 x 106 |
| H2 | 5 x 104 |
| 極限壓力 （mbar） | |
| 帶有 RV 前級(jí)泵 ISO/CF | <5 x 10-9 / 5 x 10-10 |
| 帶有隔膜前級(jí)泵 ISO/CF | <5 x 10-8 / 5 x 10-9 |
| 出口法蘭 | DN16NW |
| *前級(jí)泵* | RV5/nXDS5i |
| 排氣口 | 1/8 英寸 BSP |
| 吹掃口 | 1/8 英寸 BSP |
| zui大連續(xù)進(jìn)氣口壓力（輕氣體泵送）† | |
| 水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度） | 2 × 10-2 mbar |
| 強(qiáng)制空氣冷卻，35°C 環(huán)境溫度 | 1 × 10-2 mbar |
| 泵旋轉(zhuǎn)速度 | |
| 標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 | 90000 rpm |
| 待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 | 在 49500 至 90000 rpm 之間變化 （63000 rpm 默認(rèn)） |
| 可編程功率限制設(shè)置 | 可在 50 至 120 W 之間變化（默認(rèn)為 80 W） |
| 到 90% 速度的啟動(dòng)時(shí)間 | 110 s ‡ |
| 模擬輸出 | 轉(zhuǎn)速； 功耗；泵溫度；控制器溫度 |
| 冷卻方法# | 強(qiáng)制空氣/水 |
| 強(qiáng)制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度 | 5 - 35 °C |
| zui小冷卻水流速（15 °C 的水） | 15 l h-1 |
| 水溫范圍 | 10 - 20 °C |
| zui高入口法蘭溫度 | 100 °C |
| 操作姿態(tài) | 垂直且豎直，直到 水平 |
| 1 米處的噪音級(jí)別 | <50 dB（A） |
| 泵可以承受的zui大磁場(chǎng) | 5 mT |
| *控制器 | TIC100 分子泵和儀器控制器 |
| 靜止電功率 | 10 W |
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