產(chǎn)品展示

愛德華STP301愛德華STP301真空泵

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上海萬庫真空設(shè)備有限公司
2015-10-15 06:20:19
上海市
736

【簡單介紹】

Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實現(xiàn)*的性能，Z大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。
此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網(wǎng)。

【詳細(xì)說明】

應(yīng)用

· 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）

· 電子回旋共振（ECR）刻蝕

· 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

· 濺射

· 離子注入源，射束線泵送端點站

· MBE

· 擴散

· 光致抗蝕劑脫模

· 晶體/晶膜生長

· 晶片檢查

· 負(fù)載鎖真空腔

· 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡

· 高能物理：射束線、加速器

· 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢

*的轉(zhuǎn)子技術(shù)

· zui大的制程靈活性

· 無油

· 低振動

· 高度可靠

· 免維護(hù)

*的控制器設(shè)計

· 自動調(diào)整

· 自行診斷功能

· 直流電機驅(qū)動

· 無電池運行

緊湊型設(shè)計

· 占地面積小

· 半機架控制器

技術(shù)參數(shù)

入口法蘭	ISO100，CF100
出口	KF25
抽速
N₂	300 ls^-1
H₂	300 ls^-1
壓縮比
N₂	>10⁸
H₂	>2 x 10⁴
加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭）	6.5 x 10^-6 Pa （5 x 10^-8 Torr）
加熱時的極限壓力（ICF 法蘭）	10^-8 Pa （10^-10 Torr）
zui大允許進(jìn)氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻）	0.066 Pa （5 x 10^-4 Torr）
zui大連續(xù)出口壓力（環(huán)境空氣冷卻）	13 Pa （0.1 Torr）
額定速度	48000 rpm
啟動時間	3 min
zui高入口法蘭溫度	120 °C
輸入電壓	100 至 120 （± 10%） V 交流或
200 至 240 （± 10%） V 交流
啟動時的功耗	0.55 kVA
泵重量	11 kg
控制器重量	7 kg


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