產(chǎn)品展示

愛德華STP603愛德華STP603真空泵

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上海萬庫(kù)真空設(shè)備有限公司
2015-10-15 03:28:32
上海市
760

【簡(jiǎn)單介紹】

Edwards STP603 是新型的渦輪分子泵，可用于的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)*的性能，Z大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。

【詳細(xì)說明】

應(yīng)用

· 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）

· 電子回旋共振（ECR）刻蝕

· 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

· 濺射

· 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站

· MBE

· 擴(kuò)散

· 光致抗蝕劑脫模

· 晶體/晶膜生長(zhǎng)

· 晶片檢查

· 負(fù)載鎖真空腔

· 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡

· 高能物理：射束線、加速器

· 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢(shì)

*的轉(zhuǎn)子技術(shù)

· zui大的制程靈活性

· 無油

· 低振動(dòng)

· 高度可靠

· 免維護(hù)

*的控制器設(shè)計(jì)

· 自動(dòng)調(diào)整

· 自行診斷功能

· 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

· 無電池運(yùn)行

緊湊型設(shè)計(jì)

· 占地面積小

· 半機(jī)架控制器

技術(shù)數(shù)據(jù)

入口法蘭	ISO160F
出口	KF40
抽速
N₂	650 ls^-1
H₂	550 ls^-1
壓縮比
N₂	>10⁸
H₂	>10⁵
加熱時(shí)的極限壓力（VG/ISO 法蘭）	6.5 x 10^-6 Pa （5 x 10^-8 Torr）
加熱時(shí)的極限壓力（ICF 法蘭）	10^-7 Pa （10^-9 Torr）
zui大連續(xù)出口壓力	13 Pa （0.1 Torr）
額定速度	35000 rpm
啟動(dòng)時(shí)間	6 分鐘
zui高入口法蘭溫度	120 °C
輸入電壓	100 至 120 （± 10） V 交流或
200 至 240 （± 10） V 交流
啟動(dòng)時(shí)的功耗	0.8 kVA
泵重量	31 kg
控制器重量	9 kg


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