基于壓電陶瓷的超聲波原理，Nanomotion提供Z精密的壓電電機(jī)，和直流伺服電機(jī)類似帶有高精度，高運(yùn)動(dòng)性能壓電陶瓷電機(jī)

◆壓電陶瓷電機(jī)和驅(qū)動(dòng)器部件

特性：

數(shù)字位置和速度閉環(huán)控制采用頻率20KHz

可通過(guò)編程實(shí)現(xiàn)位置控制，速度控制，手動(dòng)控制，主-從控制模式；RS232通訊，支持C語(yǔ)言二次開(kāi)發(fā)功能；直線或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)

◆沒(méi)有行程限制

◆*的運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定性能

◆每步分辨率高于20nm
◆無(wú)內(nèi)部磁場(chǎng)
◆外部磁場(chǎng)干擾小
◆具有適用真空環(huán)境的型號(hào)

◆壓電陶瓷電機(jī)超精密平臺(tái)

◆行程從20mm-200mm

◆定位精度1um-10nm

◆X,X-Y,X-Y-Z多軸可以根據(jù)需求組裝

◆可選真空電機(jī)

納米陶瓷電機(jī)視頻：http://v.youku.com/v_show/id_XNjUxNTMwNDI0.html